单晶部PPT教材2.pptVIP

A world’s Leading Vertically-integrated PV Manufacturer 文字描述:26、化料塌料后升埚，要先开启埚转，转动一圈观察是否有料块粘在石英埚壁上，以免升埚过程中料块蹭到导流筒，引发事故。 图片说明: 对策:要在化料塌料后升埚位前先确认是否有料粘在坩埚内壁上，以免未熔硅蹭到倒流筒而产生事故。 A world’s Leading Vertically-integrated PV Manufacturer 文字描述:27、没仔细检查石英埚有裂纹，造成漏硅。装料过程中料砸坏石英埚，造成漏硅。 图片说明: 对策：漏硅是严重的质量事故，一般都是由于坩埚本身质量及不当操作造成的，所以我们一定要在装料前仔细确认坩埚的完好程度，并严格按照作业规程作业。 A world’s Leading Vertically-integrated PV Manufacturer 文字描述:28、清扫石墨件时没仔细检查石墨件破裂，造成重大事故发生。如三瓣埚有裂纹、埚托有裂纹、加热器有裂纹、电极螺丝已断掉、有打火现象等。 图片说明: 对策:清扫石墨件时一定要仔细检查石墨件是否有破裂，否则会造成严重的事故。 A world’s Leading Vertically-integrated PV Manufacturer 文字描述:29、侧取光玻璃未正确安装。正确顺序是橡胶密封垫一玻璃一硬垫，先把密封垫和玻璃装上进行抽真空，吸牢后再把硬垫装入热电堆，拧紧热电堆。没有硬垫保护玻璃会碎裂。 图片说明: 对策:安装取光玻璃一定要规范进行，不得马虎，否则会造成不正确安装不但影响正常使用，也会出现加工中途需要紧急停炉的现象。 A world’s Leading Vertically-integrated PV Manufacturer 文字描述:30、籽晶断裂问题严重，跟操作有直接关系；（1）安装不正，没有垂直向下。（2）没有用力下拽，接触不严密。幅室下不宜站人避免重锤脱落，造成人员伤亡事故。 图片说明: 对策:籽晶安装要绝对牢固，并下拉检查是否有重锤脱落的可能，另一个就是严禁人站在重锤下面，防止万一断了钢丝绳，会造成严重的伤害事故。 A world’s Leading Vertically-integrated PV Manufacturer 副室操作 启动副室真空泵，打开副室抽空阀门，在副室真空度高出主室真空度100Pa左右时，关闭副室真空阀门，打开副室氩气阀充至低于大气压100Pa时，打开副室真空阀门，关闭副室氩气阀继续抽空，当抽至低于主室50Pa时重复前面步骤，如此反复2-3次，在副室与主室压力相等时打开副室隔离阀。 打开隔离阀时，须马上关闭副室抽空阀与副室真空泵，打开副室氩气充气阀，关闭主室氩气阀。 按引晶、放肩、等径步序进行晶体生长操作 A world’s Leading Vertically-integrated PV Manufacturer 1.产生挂边和搭桥：（1）降低坩埚位置。（2）提高溶硅温度。（3）前两个现象消失后归位。 2.产生硅跳：（1）仔细挑选多晶硅和石英坩埚。（2）熔硅时温度不能过高，一般在1500°c－1600°c之间。（3）应在流动的气氛下熔硅。 3.温度振荡（波动）：（1）调整热场。（2）改变坩埚位置。（3）熔硅时缓慢升高坩埚。 4.放肩时坩埚边结晶：适当升高温度，降低拉晶速度。使结晶缓慢熔化，结晶熔化后恢复正常 常见异常 A world’s Leading Vertically-integrated PV Manufacturer