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Chip Production Technology Team / 3E Semiconductor Idea ? Velocity ? Completion * * 氮气吹扫方案 一. 编制依据 二. 吹扫目的及技术要求 三、 吹扫前应具备条件 四、 作业程序 五、 作业后处理 六、 安全注意事项 七、 作业记录 八、 作业结果报告 九、 作业附件 附图：氮气（N2）管线吹扫示意图图 吹扫方案目录 吹扫目的及技术要求 1、目的： 1.1. 检查N2管网是否畅通。检查管网配管是否有疏漏；检查管网中的法兰，阀门、仪表等的接口处，阀门等是否有泄漏。 1.2.由于管道施工及设备制造过程中残留的杂物，如：焊渣沉积物、在管道及设备内表面的氧化皮、颗粒物、附于其内壁的泥砂杂物、油脂、焊渣和锈蚀物等。在工艺管道及设备投用前，必须进行彻底地清除，保证管道、设备的清洁，避免引起发生的堵塞管道、设备；损坏机器、阀门和仪表；玷污催化剂及化学溶液、影响产品质量保证化工投料的顺利进行及安全生产。 2、技术要求： 2.1. 0.8Mpa（A）、25℃的N2用于吹扫各N2管网线；吹扫的空气流速≥30m/s； 2.2. 吹扫时，应将管道上安装的所有仪表测量元件（如流量计等）及过滤器滤芯拆除，防止吹扫时流动的赃物将仪表元件和滤芯损坏，同时，还应对调节阀采取保护措施； 2.3.吹扫时，只有待上游吹扫合格后方可进入设备； 2.4.吹扫时不得使用系统中的调节阀作为吹扫的控制阀，如需控制系统吹扫风量时，应选用排放阀门或临时吹扫阀门； 吹扫目的及技术要求 2.5.系统吹扫时，将现场压力表拆除，并封堵。所有的仪表引压管线均应打开进行吹扫，并应在系统综合气密实验中再次吹扫； 2.6.流量计管线和阀门等都必须吹扫； 。 2.7.检查系统内所有管道管卡安装完毕，配备合理，确保吹除过程中不会发生管道震动现象。 2.8.吹洗时，应用锤（不锈钢管用橡胶锤）敲打管子，对焊缝、死角和管底等部位应重点敲打，但不得损伤管子； 3、吹扫方法方法及合成标准 3.1.吹扫方法 3.1.1. 各Take off 点必须密封，待吹除使用时一一拆除，防止带杂物的气体进入其它工序，吹扫按照（前）先总管，后支管的顺序进行。 3.1.2.吹扫中同时要将仪表引压管等进行彻底，防止出现死角； 3.1.3.吹扫采用在各个排放口连续排放的方式进行。并以橡胶锤连续敲击管道，特别是对焊缝和死角等部位应重点敲打，但不得损坏管道，直至吹扫合格为止； 吹扫目的及技术要求 3.1.4.吹扫时，要缓慢向管道送气，当检查排出口有空气排出时，方可逐渐加大气量至要求量进行吹扫，以防因阀门、密封等不正确原因造成系统超压； 3.2.合格标准 每段管线或系统吹扫是否合格，应由厂务和安装人员共同检查。当目视排气清净和无杂色杂物时，在排放口用无尘布或涂有白铅油的靶板检查，如五分钟内无铁锈、尘土、水分及其他赃物和麻点即为吹扫合格。 吹扫前的准备工作 1、人员准备 1.1.厂务与正帆需明确分工，进行技术准备；全体参加吹扫的人员必须熟知吹扫方案和N2管网图。 1.2. 在吹扫过程中，所有人员应服从指挥，尽职尽责。统计好检查点，并列出明细表，保压测漏时派专人记录。（见记录表）。 2、验所需物资、工器具、安全防护和劳保用品准备 吹扫前的准备工作吹扫程序（吹扫示意图见附图） 1. 吹扫前准备 1.1.检查管网中所有的管道、仪表、阀门是否正确，且符合要求。 1.2.检查关闭管网中的所有切断阀关闭，未安装膜阀，三通等已密封。 1.3.检查管网中的短接、+临时管按吹扫图安装就位且紧固。 1.4.用储罐总阀控制吹扫所需的N2量，防止超压。 1.5.所需物资：橡胶锤 4把、无尘布 10包、耳塞 若干、手套 若干、扳手 4把、脚手架 临时搭建 1/2寸临时吹扫软管 50米、圆盘压力仪、压力表等吹扫保压相关物资 2.吹扫步骤： 2.1.GN2从储罐吹扫到与氮气管廊界面，吹净的清洁度用无尘布检查，无尘布无吹打痕迹即可。吹扫合格后，安装盲板进行保压24小时，压降小于1%，保压合格后将法兰连接。 2.2.GN2从氮气管廊界面吹扫到纯化器1/2寸阀V01002处，接临时软管到室外排空，将阀门关闭进行保压24小时，压降小于1%，保压合格进行下一段管线吹扫保压。 2.3确认GN2管网其他所有支路阀密封。打开总管末端1/2寸阀V01169，接临时软管到室外排空。开始吹扫总管线，吹扫合格后阀门关闭，进行保压24小时，压降小于1% 。 (详见图示) 吹扫前的准备工作吹扫程序（吹扫示意图见附图） 2.4 确认PN2管网其他所有支路阀密封。打开总管末