传感器与检测技术第3章3.pptVIP

第三节 压力传感器 第三节 压力传感器 把作用于单位面积上的全部压力称为绝对压力 ，而把测量仪表所指示的压力称为表压力p。当绝对压力高于大气压力 时称为正压力，绝对压力低于大气压力时称为负压或真空度 ，它们之间的关系如下： 第三节 压力传感器 一、液柱式压力计 二、活塞式压力计 三、弹性式压力传感元件 四、电量式压力计 一、液柱式压力转换原理 一、液柱式压力转换原理 一、液柱式压力转换原理 液柱式压力计测出的压力 与液面变化高度h或l、工作液的密度?有关，因此测试时应注意?及温度与标定时的差异，必要时应引入修正系数对所测结果进行修正。 此外，测试时压力计应平放，液柱内不允许存在气泡。 二、活塞式压力转换原理 活塞式压力计广泛应用于基准和标定工作中，此种压力计利用力平衡原理制成。 二、活塞式压力转换原理 二、活塞式压力转换原理 工作时拨转手轮1，通过丝杠2、工作活塞3挤压工作液产生压力p，经液体传递，作用在待校准的压力表和测量活塞上，使压力表指针偏转、砝码6被顶起。 二、活塞式压力转换原理 由力平衡关系知，在平衡状态时，压力p的大小由下式确定 二、活塞式压力转换原理 对于已定的压力计，S、G0一定，压力p仅取决于砝码的重量G。改变它的重量，即可测得不同的压力p，校准了压力表各示值所指示的实际压力值。 二、活塞式压力转换原理 活塞式压力计是一种较精密的测量仪器，工作时应水平放在平稳而无振动的工作台上，在顶起砝码系统处于平衡状态时，要求测量活塞插入活塞筒内的深度不小于总长的2/3，活塞在活塞筒内能均匀平稳转动，并且保持足够的持续旋转时间，以减小活塞与活塞筒壁之间的摩擦力。 三、弹性式压力传感元件 指针式压力计和压力传感器都是根据弹性变形原理工作的。 某种特定形式的弹性元件，在被测流体和气体压力作用下，将产生与被测压力成一定函数关系的机械变位(或应变)，经转换装置转换成指针的偏转，从而直接指示被测压力的大小，此转换装置就是压力传感件。 三、弹性式压力传感元件 感受压力的弹性元件是压力传感器的关键元件 通常采用的弹性式压力敏感元件有 波登管 膜片 波纹管 三、弹性式压力传感元件 波登管 大多数指针式压力计的弹性元件是波登管 三、弹性式压力传感元件 波登管 其横截面都是椭圆形或平椭圆形的空心金属管子 当这种弹性管一侧通入流体有一定压力时，由于内外侧的压差(外侧一般为大气压力)，迫使管子的椭圆截面产生趋向于变圆的变形，这种变形导致C形、螺线形和螺旋形波登管的自由端产生变位；对于扭转形波登管，输出运动则是自由端的角位移。 三、弹性式压力传感元件 波登管 虽然采用波登管作为压力敏感元件，可得到较高的测量精确度，但由于它尺寸较大，固有频率较低及有较大的滞后现象，故不宜作测量动态压力传感器的敏感元件。 三、弹性式压力传感元件 膜片 三、弹性式压力传感元件 波纹管 波纹管可在较低压力下得到较大变位。它可测的压力较低，对于小直径的黄铜波纹管，最大允许压力约为1.5MPa 四、电量式压力计 电量式压力计是用各种传感器或测量元件将压力变换成电量或电参数，再经后接相应的测量电路进一步变换，最后由显示或记录仪显示或记录下来，以实现压力测量的装量。 常见的测压力系统所用传感器有电容式、电感式、电阻式、涡流式、压电式等 四、电量式压力计 1.电容式压力传感器 电容式压力传感器是将压力转换成电容的变化，经电路变换成电量输出。 四、电量式压力计 1.电容式压力传感器 四、电量式压力计 1.电容式压力传感器 四、电量式压力计 1.电容式压力传感器 四、电量式压力计 1.电容式压力传感器 四、电量式压力计 1.电容式压力传感器 电容式压力传感器的特点是灵敏度高，适合测量微压，频响好，抗干扰能力较强。 四、电量式压力计 2.应变式压力传感器 应变式压力传感器的工作原理是利用应变片将弹性元件在压力作用下产生的应变转换成电量的变化。 四、电量式压力计 2.应变式压力传感器 四、电量式压力计 2.应变式压力传感器 应变式压力传感器体积小，重量轻，精度高，测量范围宽，从几帕到500MPa，频响高，同时耐压，抗振，因而在实际中得到广泛应用。 四、电量式压力计 3.压阻式压力传感器 压阻式压力传感器是利用压阻效应将压力变换成电阻的变化实现压力测量。 四、电量式压力计 3.压阻式压力传感器 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应。 半导体材料的这种效应特别强。利用半导体材料做成的压阻式传感器有两种类型：一种是利用半导体材料的体电阻做成的粘贴式应变片；另一类是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成扩散电阻，称扩散型压阻传感器。 四、电量式压力计 3.压阻式压力传感器 压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高。频率响应高，体积