传感器第3章3.pptVIP

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2018-05-03 发布于四川
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传感器第3章3.ppt

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第 3 章电阻应变式传感器轮辐式测力传感器膜片式压力传感器第 3 章电阻应变式传感器 3.6.4 电阻应变式位移传感器应变式位移传感器是把被测位移量转变成弹性元件的变形和应变，然后通过应变计和应变电桥，输出正比于被测位移的电量。它可用来近测或远测静态与动态的位移量。因此，既要求弹性元件刚度小，对被测对象的影响反力小，又要求系统的固有频率高，动态频响特性好。图为国产YW系列应变式位移传感器结构。这种传感器由于采用了悬臂梁-螺旋弹簧串联的组合结构，因此它适用于较大位移(量程＞10～100mm)的测量。其工作原理如图)所示第 3 章电阻应变式传感器 1—测量头； 2—弹性元件； 3—弹簧； 4—外壳； 5—测量杆； 6—调整螺母； 7—应变计第 3 章电阻应变式传感器由于测量杆位移d为悬臂梁端部位移量d1和螺旋弹簧伸长量d2之和。由材料力学可知，位移量与贴片处应变ε之间的关系为： ?? ??? ????????????????????????????????????? ?上式表明：d和ε成线性关系，其比例系数K与弹性元件尺寸、材料特性参数有关；ε通过4片应变计和应变仪测得。 3.6.5 电阻应变式加速度传感器 1. 电阻应变式加速度传感器测量原理第 3 章电阻应变式传感器 2. 测量加速度的原理框图 3. 工作原理式二阶传感器微分方程传递函数令得出第 3 章电阻应变式传感器当被测物体做简谐运动时，即幅频特性为：相频特性为：令：第 3 章电阻应变式传感器当时，M≈1,则若采用等强度梁作弹性元件，即xt为梁的挠度，即代入得当确定参数后有（线性函数）。 4. 系统传递函数框图第 3 章电阻应变式传感器工作原理式为当确定参数后有（线性函数）。 5.标度变换第 3 章电阻应变式传感器 3.7 固态压阻式传感器固态压阻式传感器是根据半导体材料的压阻效应为理论基础工作的，它是在半导体材料上扩散电阻制成的。 3.7.1 压阻式传感器的工作原理压阻式传感器的工作原理是基于半导体材料的压阻效应，即：半导体材料单一方向受力（拉或压）时，其电阻率相对变化与所受应力成正比的现象。固态压阻式传感器主要用于测量压力和加速度，其输出是模拟信号，可以为频率信号。第 3 章电阻应变式传感器测量系统 P 高压腔空气硅膜片低压腔硅杯 3.7.2 压阻式压力传感器的工作原理压力测量: 与金属膜片式压力传感器原理相同。第 3 章电阻应变式传感器 3.7.3 压阻式加速度传感器的工作原理加速度测量，传感器弹性元件是硅梁，在硅梁的根部有四个扩散电阻，当硅梁的自由端因加速度受力作用时，惯性使梁弯曲，弯矩产生的应力使四个电阻值发生变化，应变范围在400～500με。??? 第 3 章电阻应变式传感器直流电桥优点：电源稳定电路简单，仍是主要测量电路；缺点：直流放大器较复杂，存在零漂工频干扰。交流电桥优点：放大电路简单无零漂，不受干扰，为特定传感器带来方便；缺点：需专用测量仪器或电路不易取得高精度。第 3 章电阻应变式传感器 3.4.6 交流电桥交流电桥采用了交流供电，这时，电桥的平衡条件、引线分布参数的影响、平衡调节、后续放大线路等许多方面的影响，与直流电桥有明显的差别。 1.交流电桥的平衡条件 Z1、Z2、Z3、Z4为复阻抗，U为交流电压源，开路输出电压为U0，根据交流电路分析（和直流电路类似）可得平衡条件为：第 3 章电阻应变式传感器设 ?(i=1,2,3,4) 式中? , ——各桥臂电阻和电抗；， ——各桥臂复阻抗的模和幅角。因此，平衡条件必须同时满足： ?????????????????????? 或 2.交流电桥的输出特性第 3 章电阻应变式传感器 1）设交流电桥的初始状态是平衡的，当工作应变片R1改变ΔR1，引起Z1 变化ΔZ1，可算出： ??? 第 3 章电阻应变式传感器略去ΔZ1/Z1，并设初始时Z1＝Z2，Z3＝Z4，则： ?????