稀土ND掺杂FECO纳米磁性薄膜的结构和磁性.pdfVIP

摘要 摘要 随着电子设备小型化、高频化的不断发展，应用于电磁器件的高频软磁材料 成为一个十分活跃的研究领域。理论和实验表明，CoFe基软磁性薄膜在获得高 微波磁导率方面优于其它磁性薄膜，而稀土元素的掺杂可从本质上影响Co基非 晶薄膜的复数磁导率特性，稀土元素的适量加入可提高共振频率，提高其高频软 磁性能。 本文中，我们利用射频磁控共溅射方法，在不同的衬底条件下，通过改变 测量了样品的晶体结构，利用原子力显微镜得到了样品的表面形貌；用振动样品 磁强计(VSM)和磁力显微镜(MFM)分别研究了样品的静态磁性和磁畴结构；用 单端带线法测量了样品的高频磁谱，得到以下结论： 一、对于衬底温度加热至300。C制备出的样品，溅射态及热处理后样品均没有 面内各向异性，样品的饱和磁化强度随Nd含量的增加而减小，矫顽力随Nd含量 的增加而增大。对于Nd。。(FeCo)。，样品，由于旋转各向异性的存在，测得该薄 膜的共振频率约为1．5GHz。 二、对于衬底不加热的样品： 研究了其结构和磁性随Nd含量和真空磁场退火温度(T)的变化关系。X射线 衍射研究表明热处理前的薄膜为非晶态，随着T的升高，逐渐析出FeCo纳米晶， 随T的进一步升高，FeCo纳米晶粒逐渐变大，而且在薄膜中生成了FeCoNd合金 纳米晶。利用振动样品磁强计研究了纳米薄膜的静态磁性，结果表明，饱和磁化 强度随着Nd含量的升高而降低。 而对Nd含量较低的Nd，。(FeCo)盯样品研究表明由于垂直各向异性的存在， 溅射态及热处理后的薄膜样品均没有面内各向异性样品，表现为条纹畴结构。 在Nd含量高于13％的样品中，经真空磁场热处理的样品都表现出很好的面 顽力为2．50e，各向异性场为102．60e的优异静态磁性，表明在高频领域具有很 好的潜在应用前景。 摘要 Abstract soft thinfilmsusedin devicesare magnetic electromagnetic Highfrequency a activeresearchfieldindemandwithminiaturization increasinglybecomingvery and in devices．Thetheoreticaland highfrequencyelectromagnetic experimental soft thinfilmoneofthebestmaterials resultsshowthattheFe-Cobasedmagnetic is in field．The soft of high magneticproperties highfrequencyapplication frequency Co-based thinfilmscanbe therare—earthelements amorphous by doping． improved Inthis seriesof thinfilmsof were work，a nano-magnetic Ta／FeCo-Nd／Ta RF withdifferentofNdandsubstrate by magnetron power prepared sputtering