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摘要
摘要
随着微流体系统的发展,微流体的驱动和控制技术已经成为微系统发展需
要解决的关键技术。磁流变技术在兼顾流体传动优点的基础上增加了电磁可控
特性,可以弥补流体在微机电系统中难以进行精确控制的缺点。本文研究磁流
变液在微观状态下的流体动力学模型及其可控特性,研制基于磁流变技术的微
阀结构,以达到实现微操纵机构的高精度控制目标。
本文正是在此背景下,研究用磁流变液(MRF)作为流体在微小管道中的
流动控制情况。首先,介绍了微管道的相关理论,包括宏观流体和微观流体的
异同以及微观流体的一些相关特性;随后在第三章进行了理论推导工作,包括
外部电磁场的计算、管道内部和管壁上电磁场的推导、磁流变液的微观粒子模
型和材料模型以及管道的电磁.流场耦合计算;在第四章用软件COMSOL的有
限元数值分析方法,对磁流变液的耦合模型进行建模和仿真,模拟并得到了流
过两个通电螺线管之间的微孔管道的磁流变液的流动特性数据。同时搭建了磁
流变液的微管道流量检测系统,得到在不同的电流条件下磁流变液的流量,并
与仿真分析结果进行比较,分析了在微管道条件下利用磁流变液进行驱动控制
的可行性和效果;最后,对研究工作进行了总结与展望,讨论了进一步研究工
作中需要解决与研究的问题。
基于磁流变液的微管道控制是关于MEMS驱动的一种新的尝试,它为
MEMS的研究提供了一种新的解决方案;对于磁流变液来说,将其运用于微管
道进行控制,同样也是对其在新的领域应用的一种探索。
关键词:磁流变液、微管道、耦合模型、有限元、COMSOL、驱动控制
ABSTRACT
ABSTRACT
drive
Withthe ofMicro-fluidic andcontrol
development system,the technology
hasbecomethe Micro—fluidic Fluids
keytechnique system.Magneto—rheological
controllablecharacter onthebasisoffluid
electromagnetism drive,and
augments by
defectthatfluid inthe MEMS.Thjs
overcomethe isdifficulttocontrol of
system
Fluid
studiesthefluid modelof inmicrocosmic
paper dynamic Magneto—rheological
micro—valvestructurebasedon Fluidinorderto
state,develops Magneto-theological
the inthe
reach ofmicro-machine.
operation
highaccuracy
This of Fluid
the condition
Paperjustex
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