锂基微波陶瓷的结构、低温烧结及性能研究-材料学专业论文.docx

摘要摘要随着微波器件朝集成化、模块化、小型化、环境友好型方向发展，低温共烧微波 陶瓷受到广泛的关注，主要应用于滤波器、谐振器、雷达、天线、无线等通讯领域。 本文通过XRD、SEM、EDS、网络分析仪等于段，系统研究了玻璃助剂、TiO2、(Zn1/3Nb2/3)4+替代对Li2TiO3和Li2MTi3O8(M=Zn,Mg)微波介质陶瓷的烧结特性、相组成、微观结构及介电性能的影响。研究结果如下:(1)系统研究了LMB玻璃、(Zn1/3Nb2/3)4+替代Ti4+对Li2TiO3陶瓷的相变、微观结构、烧结特性及微波介电性能的影响:在Li2Ti1-x(Zn1/3Nb2/3)xO3(0≤x≤0.5)体系中，当x≤0.2时，为单斜Li2TiO3相;当x≥0.3时发生有序-无序相变，且出现少量的Zn2Ti3O8第二相。随着x量增多，εr、Q×f先升高后降低，当x=0.2时达到最大值，εr 、Q×f 值高达20.2、75,257GHz，τf从37.88ppm/C降至-26.73ppm/C。通过添加LMB玻璃使得Li2TiO3陶瓷的烧结温度降至850C，添加5wt%LMB的Li2TiO3陶瓷在850C烧结3h时获得优异的微波介电性能为εr=21.4，Q×f=64,122GHz，τf=26.9ppm/C。 (2)对添加LBS/TiO2 的Li2ZnTi3O8陶瓷的低温共烧、微波介电性能进行研究:添加LBS玻璃将Li2ZnTi3O8陶瓷的烧结温度从1050C降低至875C。随着LBS玻璃添加量增多，相对密度、εr和Q×f值都下降，τf向从-9.8ppm/C降低至-13.4ppm/C。 在此基础上，通过添加TiO2 调节了τf 接近于0，且能有效改善εr 和Q×f 值。LZT+1wt%LBS+3.5wt%TiO2陶瓷在875C/4h时的介电性能为εr=26，Q×f=44,023GHz，τf=-4.4ppm/C。与Ag共烧化学兼容性好，有望用于制造LTCC微波器件。 (3)对添加LZB/TiO2的与Ag共烧Li2ZnTi3O8陶瓷的微波介电性能进行研究:添加 LZB 降低 Li2ZnTi3O8 陶瓷的烧结温度至 875C，微波介电性能优异。添加1wt%LZB的LZT陶瓷微波介电性能最佳:εr=23.9，Q×f=31,608GHz，τf=-14.3ppm/C。 通过添加适量的TiO2有效的调节τf和提高εr。LZT+1wt%LZB +3.5wt%TiO2陶瓷在900C/4h时微波介电性能为εr=26.1，Q×f=45,168GHz，τf=-4.1ppm/C。与Ag电极共烧化学兼容性好，有望制造LTCC 微波器件。(4)对添加LMB玻璃的Li2MgTi3O8陶瓷的低温烧结进行研究:添加LMB玻璃使Li2MgTi3O8陶瓷的烧结温度从1025C降至875C。随着添加量的增多，εr和Q×f先上升后降低，掺杂1wt%LMB的LMT陶瓷微波介电性能最佳:εr=26，Q×f=49,406GHz，τf=3.2ppm/C。该陶瓷与Ag电极化学兼容性好，有望用于制作LTCC微波器件。关键词:介质陶瓷;低温共烧;Li2TiO3;Li2MTi3O8(M=Zn，Mg);微波介电性能AbstractInordertomeetintegration,miniaturization,modular,environmentalprotectionfor electroniccomponents,Lowtemperatureco?redceramics(LTCC)formicrowaveapplicationhavebecomeanattractivetechnologyforthedevelopmentoffutureelectronic productsinahighfrequencyapplicationforresonator,filter,ICpackagingradar,antennas and wireless.Theeffectsof glassadditives, TiO2 dopingand(Zn1/3Nb2/3)4+substitutiononthesinterability,phasepurity,microstructure,anddielectricpropertiesofmicrowaveceramics based on Li2TiO3 and Li2MTi3O8(M=Zn，Mg)has been investigated by using X-raydiffraction(XRD),Scanningelectronmicroscope(SEM),Energyspectrumanalysis(EDS) andVectorNetworkAnalyze