英寸芯片厂房组成.ppt

电子动力支持系统培训课程 电子动力支持系统培训课程 总效果图 电子动力支持系统培训课程 总平面图 电子动力支持系统培训课程 电子动力支持系统培训课程 电子动力支持系统培训课程 电子动力支持系统培训课程 电子动力支持系统培训课程 电子动力支持系统培训课程 电子动力支持系统培训课程 六英寸生产厂房支持系统构成 六英寸生产厂房支持系统构成剖面图 电子动力支持系统培训课程 华夫板 电子动力支持系统培训课程 华夫板施工现场 空调净化系统 空气处理系统（空调、净化） 空调新风处理系统 空调循环风处理系统 空调蒸汽（热水）供应系统 通风/降温系统 真空清扫系统 动力支撑系统（一） 给水排水 生产、生活、消防联合供水系统、纯水制备供应系统、工艺设备循环冷却水供应系统、换热系统、动力设备循环冷却水系统、排水系统（雨水、生活污水、生产废水）。 气体动力 工艺气体（氮气、氢气、氧气等）输送系统、工艺压缩空气制备及输送系统、工艺真空系统、冷冻水制备系统、热水(蒸气)制备与供应系统、天然气供应系统。 动力支撑系统（二） 电气系统 110KV（10KV）配变电站、10KV终端配变电站、 应急发电机和UPS系统、 配电系统、照明系统、 动力设备控制系统、 通信、数据传输、 报警系统（火灾报警与消防联动控制）、保安系统、应急广播、监视电视系统、通道管理系统、 动力设备维修 安全系统 有害气体和废热排除及处理系统 新风补给系统 防静电设施、安全接地系统 防噪声设施 化学品防护措施（紧急喷淋及冲眼器） 氢气管道泄露探测和报警 有毒（害）气体泄露探测和报警 防雷接地系统、应急照明和疏散指示、事故排风、 盥洗和饮水、妇女卫生和职工医疗 消防系统 建筑物防火措施 火灾报警系统 室内消火栓灭火系统 室内自动喷水灭火消防系统 室外消火栓灭火系统 洁净室内防排烟系统 声光应急疏散指示、消防电话系统 管理服务系统 生产厂管理设施 办公、会议、档案等 服务设施 餐厅、更衣室、卫生间、门卫保安 净化系统包所含内容 MAU（新风处理）系统 吊顶系统（包括FFU、照明、喷洒、烟感探头、广播、铝合金框架等） 架空地板系统 壁板、顶板、门 FAB、SUBFAB中的COATING 风淋室 排风系统 除特气及化学品外的其他管线及设施 弱电包所含内容 通信系统（话音通信 、数据通信 ） 生命安全系统（LSS） 闭路系统（ CCTV ） 门禁系统 广播系统 火灾报警系统 氢泄漏报警系统 * * 6英寸芯片厂总体 构成平面布置图 预留厂房 3 6英寸生 产厂房 1 动力站 （二） 4 动力站 （一） 2 综合楼 9 气站 8 化学品库 7 化学品库 6 倒班宿舍 13 倒班宿舍 12 倒班宿舍 11 倒班宿舍 10 变电站 5 研发楼 14 6英寸芯片生产 厂房的组成 六英寸生产厂房设计概述 该厂房采取两层结构形式，一层核心区为回风夹层，部分工艺设备所需的机械泵可置于回风夹层内。一层北侧边跨布置有废液回收间、气体纯化间、溶剂存放间、氧化物存放间、酸存放间、化学品控制间、气体控制间、真空泵间、等工艺辅助房间。一层西侧边跨布置纯水抛光及工艺冷却水制备间、原材料存放间。工作人员经一层南侧边跨换鞋、一次更衣，从楼梯上到二层，经二次更衣后吹淋进入洁净房间。二层工艺设备区为芯片加工 车间，位于二层防微振平台上，楼板结构为华夫板，华夫板上安装隔栅地板以满足回风要求，生产设备层的吊顶上有净化送风系统以满足工艺净化要求。二层西侧边跨为维修间、晶片检测间、炉管清洗间、部件清洗间、研磨间以及成品存放间。二层北侧边跨为变配电间。三层南侧边跨为办公室、会议室及质量控制间，三层西侧和北侧边跨为空调机房。 六英寸芯片厂房的系统组成 生产系统 支持系统 空调净化系统 动力支撑系统（1、2） 安全系统 消防系统 管理服务系统 六英寸芯片生产系统的组成 返回 芯片加工系统 芯片中间测试、芯片成品测试 生产线技术管理 生产线设备维修 原材料半成品成品存放 洁净工作服清洗 冷却塔 工业水 回流抑止器 中央冷冻装置 中央锅炉 工艺冷却水 清洁干燥空气 工艺真空 吹扫真空 特殊气体 大宗气体纯化装置 大宗气体储存 自来水 超纯水 酸性药液存储与分配 有机药液存储与分配 新风制备 热排风 有机排风 酸性洗涤排风 有机药液回收槽 酸性药液 集中回收槽 工业废物处理 生活污水管 运离 运离 6英寸生产厂房 返回 返回 Waffle board 返回 返回 返回 返回 返回 * * *