毕业设计（论文）-无尘室内的检测与维修汇.doc

电 IVT-REJX-50》 苏州工业园区职业技术学院 毕业项目 2011 届 IVT-REJX-51 IVT-REJX-51 苏州工业园区职业技术学院 毕业项目任务书（个人表） 系部： 毕业项目类别：毕业论文 毕业项目名称：无尘室内的检测与维修 指导教师1： 职称：讲师/工程师 类别： 指导教师2： 职称：技师 类别： 学 生： 专业： 班级： 1、毕业项目的主要任务及目标 任务：结合工作实际，就佳能苏州有限公司无尘室内的环境调节维护与控制检查进行分析，并对生产过程中出现的故障进行分析探讨，找出相应的维修方法，以提高生产效率。 目标：完成一篇7000字以上论文。 2、毕业项目的主要内容 1：无尘室内的环境控制 2：无尘室内的专业工具检测 3：无尘室内的科学生产 4：无尘室内的生产中常见问题及其维修方法 续表： 3、主要参考文献 [1]北京嘉创博远净化科技有限公司2007 [2]佳能苏州有限公司，无尘室作业标准书，2010 [3]佳能苏州有限公司，无尘室环境规范，2010 [4]杨涛张云秀选题阶段阶段完成阶段阶段 毕业答辩阶段一、简介 6 1.无尘室的起源 2 2.无尘室的定义 2 3.无尘室之构成 2 二、无尘室内的环境控制 3 1．无尘室对物要求 4 2．无尘室对人要求 5 3．无尘室环境设置（以我实习单位的为例） 7 三、无尘室内的专业工具检测 9 1.温度 9 2.相对湿度 9 3.空气流速 9 4.新风量 10 5.专业生产设备之选择、布置与保养 10 四、无尘室内的科学生产 11 1.自动化与无尘化 11 2空气除湿机 12 3.温湿度计 13 4.交换仓 13 5.吸气导管与集尘器 14 6.静电风扇 15 7.隐形胶带 15 8.日本进口特殊橡皮泥 16 五、无尘室内生产中常见问题及其维修方法 16 1.生产设备之防尘措施 16 2.除湿机故障的检修顺序 18 3.除湿机噪音增大故障的检修顺序 18 4.除湿机向地面流水故障的检修顺序 19 5.运转正常但除湿效果变差的故障检修顺序 19 6.压缩机不能启动的故障检修顺序 20 7.热交换器是除湿机的关键部件 20 六、总结 20 参考文献 21 致 谢 21 一、简介 无尘室和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的——管理制度来搭配，维持良好的；无尘室运转管理，设备及无尘室内所用东西等加以探讨无尘室之构成无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成完整且品质良好的无尘室： (1)天花板系统包括吊杆、纲梁、天花板格子梁。 (2)空调系统包括空气舱、过滤器系统等。 (3)隔墙板包括窗户、门。 (4)地板包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。 (5)照明器具包括日光灯、黄色灯管等。无尘室内之来源，经测试分析结果，作业人员占约80%。实验数据显示，作业人员进出无尘室时尘埃有显著增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因人是主要因素。无尘室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等；而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等。对硅芯片而言，微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路，使芯片失去运作功能，因此微污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。表一为自然环境所测得的尘埃浓度，可为设计参考，而在微污染控制，其基本原则有四： 1.外部尘埃侵入之防止无尘室适当之正压保持（0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。 2.室内发尘之防止隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。 3.室内发尘之不积留墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应