s-4300扫描电镜操作要点简述.pdfVIP

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S-4300 扫描电镜操作要点简述 一、装试样: (1)把样品用螺钉或导电胶等固定在样品台上。 (2)检查SPECIMEN STAGE指向FREE。 (3)检查样品台控制旋钮 X, Y, R, T, Z 位于以下位置(见样品台外部的标注): X——40mm,Y——25mm,Z——15mm,R——0°,T——0° (4)确定样品室阀门MV1 关闭,即 MV1 顺时针旋至C。 (5)在S.C./S.E.C 旋钮指向S.E.C的情况下,按下AIR 键。 (6)当交换室有空气进入时将自动打开,将交换螺杆水平向前推出,把样品台在螺 杆

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