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气体挤压膜悬浮平台驱动技术的研究-机械设计及理论专业论文

承诺书本人声明所呈交的硕士学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得南京航空航天大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。本人授权南京航空航天大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本承诺书)作者签名:日期:摘要气体挤压膜轴承具有众多优点,在精密支承领域有着广泛的应用前景,国内外相关的研究很多,但是气体挤压膜轴承工作时需要能够产生微振幅高频振动的执行器和驱动电源,目前对此驱动技术的研究却较少。压电陶瓷执行器具有体积小、输出力大、控制精度高、响应速度快等优点,是一种理想的气体挤压膜轴承驱动器。驱动压电陶瓷执行器的电源要求具有良好的动态特性,但是目前的驱动电源主要针对于压电陶瓷的静态应用,动态性能较差,直接影响了压电陶瓷执行器的动态性能,也影响了气体挤压膜轴承的性能。因此研究适合激励气体挤压膜轴承的驱动电源具有重要意义。针对气体挤压膜轴承驱动器电容量大和驱动响应频率高的特点,设计了一款适用于驱动大容性、高频率压电陶瓷执行器的驱动电源。该电源采用高压集成运放驱动多组并联功率放大级的电路结构,电路紧凑、可靠。运用Multisim软件对该电源电路进行仿真和分析,结果表明驱动电源的动态性能良好,满足气体挤压膜轴承的要求。运用PROTEL软件设计了驱动电源的电路原理图和电路板,并完成了PCB板的制作和调试。通过实验测试发现该驱动电源具有很强的电压、电流驱动能力,并且有良好的动态性能以及优异的稳定性和线性度。在此基础上,应用本文设计制作的驱动电源对气体挤压膜轴承进行驱动实验,研究轴承的悬浮性能。实验表明,在该电源的驱动下,气体挤压膜轴承能够稳定悬浮;轴承悬浮高度与驱动电压和驱动频率有关:轴承悬浮高度随着驱动信号电压的增大而增大,且在其谐振频率时达到极大值。从理论分析和实验研究两个方面证明了本文所设计的驱动电源性能良好,达到了预期的设计要求。关键词:气体挤压膜,压电陶瓷,驱动电源,动态性能,高频驱动本论文获得了国家自然科学基金项目(NO的支持。ABSTRACTGassqueezefilmbearingswiththeirnumerousadvantagesinthefieldofprecision bearingshavea broadapplicationprospectsandmanyresearchpapershavebeenpublishedonthisareaathomeand abroad.Gassqueezefilmbearingsneedadrivingpowerandanactuatorthatcouldgeneratehigh-frequencyvibrationwithmicro-amplitude,however,littleresearchondrivingtechnologyforthis purposehasbeenfinished.Thepiezoelectricceramicactuatorisanidealgassqueezefilmsbearings’ driverforitsmanyadvantagessuchassmallvolume,highcontrolprecision,fastresponsespeedand largeoutputforceetc.Thedrivingpowerofthepiezoelectricceramicactuatorsrequires good dynamiccharacteristics,butnowmostofthepiezoelectricceramicdrivingpowerisdesignedfor staticapplicationsanditsdynamicperformanceispoor,itaffectthedynamicperformanceofthe piezoelectricceramicactuatorsseriouslyandsodoestheperformanceofbearings.Thereforethe researchongassqueezefilmbearings’drivingpowerhasimportantsignificanceforthewidely useof gassqueeze bearings.Tomeetrequirementsforthelargecapacityandhighdrivingfrequencyofthegassqueezefilm bearings’actu

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