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第九章 透射电子显微镜 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 第二节 主要部件的结构与工作原理 第三节透射电子显微镜分辨率和放大倍数 的测定 第一节透射电子显微镜的结构与成像原理 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率，高放大倍数的电子光学仪器。它由电子光学系统，电源与控制系统及真空系统三部分组成。 电子光学系统通常称镜筒，包括照明系统、成像系统和观察记录系统 一、照明系统 电子枪，聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。 其作用是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源 （一）电子枪：自偏压回路可以限制和稳定束流 等位面在空间呈弯曲伏。 在阴极和阳极之间的某一地点电子束会汇集成一个交叉点——电子源——直径约几十个微米。 （二）聚光镜 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照明强度、孔径角和束斑大小。一般都采用双聚光镜系统 二、成像系统——物镜、中间镜、投影镜 （一）物镜 形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样 决定分辨率 采用强励磁、短焦距的物镜像差小 焦距1-3mm，放大倍数100-300倍，分辨率0.1nm 减小极靴的内孔和上下极靴间距可提高分辨率 物镜光阑减小球差 （二）中间镜 一个弱励磁的长焦距变倍透镜，可在0-20倍调节 放大倍数大于1，放大物镜像 放大倍数小于1，缩小物镜像 用于连续调节电镜总放大倍数 中间镜的物平面和物镜的像平面重合，在荧光屏上得到一个放大像-----成像操作 中间镜的物平面和物镜的背焦面重合，在荧光屏上得到一个电子衍射花样-----电子衍射操作 （三）投影镜 把经中间镜放大（或缩小）的像(或电子衍射花样)进一步放大，并投影到荧光屏上。 和物镜一样，是一个短焦距的强磁透镜。 孔径角小，景深焦长都很大，图像清晰 三、观察记录系统 荧光屏 照相机构 现代电镜直接 保存电子版照片 第二节主要部件的结构与工作原理 一、样品平移与倾斜装置（样品台） 样品台的作用是承载样品，并使样品能在物镜极靴孔内平移，倾斜，旋转 使样品牢固夹持在样品座，并保持良好的热电接触。 样品移动机构要有足够的机械精度 不仅要求样品能平移以选择视野， 而且必须使样品相对电子束照射 方向作有目的的倾斜， 二、电子束倾斜与平移装置 新式的电子显微镜都带有电磁偏转器，利用电磁偏转器可以位人射电子束平移和倾斜。 上下偏转线圈角度相等方向相反，平移 三、像消散器 外加磁场使原有的非旋转 对称（椭圆形）的磁场 校正成接近旋转对称的磁场 两组四对电磁体，通过改变 这两组电磁体的励磁强度和 磁场来较正原有磁场 四、光阑 聚光镜光阑、物镜光阑和选区光阑 （一）聚光镜光阑：限制照明孔径角 （二）物镜光阑：装于物镜的后焦面 挡住散射角较大的电子，形成一定 的衬度，被挡电子越多，衬度越大 减小孔径角，减小像差 后焦面套取衍射束斑点，暗场像 （3）选区光阑 又称场限光阑或视场光阑。 为了分析样品上的一个微小区域，应该在样品上放一个光阑，使电子束只能通过光阑孔限定的微区。对这个微区进行衍射分析叫选区衍射。 一般放在物镜像平面位置 孔径在20-400μm左右 第三节透射电子显微镜分辨率和放大倍数的测定 从照片上找出粒子间最小间距，除以总放大倍数，即为相应电子显微镜的点分辨率。 利用外延生长方法制得的定向单晶薄膜为标样，拍摄其晶格像 放大倍数 本章重点内容 透射电镜组成（三个系统） 成像系统组成 * * 形貌像 电子衍射花样 成像操作 电子衍射操作 强励磁透镜，10-50倍1-5μm 弱励磁透镜，2倍，2-10μm 中间镜 背焦面 物镜 中间镜 像平面 物镜 *