三氯氢硅的生产工艺选择.docVIP

三氯氢硅的生产工艺选择 化学工程系个性教育 三氯氢硅的生产工艺选择小组 学 院： 专业班级： 姓 名： 学 号： 指导教师 2012年01月08日 三氯氢硅的生产工艺选择 摘要: 介绍了三氯氢硅的生产原理及催化反应机理,阐述了沸腾氯化法生产三氯氢硅的工艺和流程,及以四氯化硅为原料的还原法、以硅粉为原料的直接法、硅氢氯化法等工艺。 关键词: 三氯氢硅；生产原理；催化反应机理；生产流程 Abstract: Introduced the production of trichlorosilane principle and catalytic reaction mechanism,elaborated by boiling chlorination trichlorosilane production technology and processes,and the silicon tetrachloride as raw materials with silicon powder reduction method,direct method,silicon hydrogen chlorination process. Key words: trichlorosilane; production principles; catalytic reaction mechanism; flowpath 三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿,是一种易挥发、易潮解的无色液体,同时也是一种应用广泛的有机硅单体,广泛用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成,是有机硅烷偶联剂中最基本的单体,也是生产半导体硅、单晶硅、多晶硅的原料[1]。我国经济的飞速发展,尤其是精细化工、有机硅产业、电子产品、光纤通讯等行业的快速发展,为三氯氢硅的生产和下游产品的开发提供了巨大的市场空间和机遇。三氯氢硅在生产中消耗大量的氯气和氢气,建设周期短,产能释放快,也是氯碱企业的一种很好的平衡氯气提高经济效益的产品。因此,近年来,三氯氢硅项目不断拟建和扩建,又为三氯氢硅的发展带来挑战[2]。 1 三氯氢硅的生产原理及催化反应机理 1.1 生产原理[3] 三氯氢硅是通过高纯氯化氢气体与金属级单体硅(质量分数98.0%～99.0%)在一定温度、压力条件下反应制备的。反应方程式如下: Si+3HCl→SiHCl3+H2 (1) Si+4HCl→SiCl4+2H2 (2) Si+2HCl→SiH2Cl2 (3) 反应(1)为主反应,反应(2),(3)为副反应。反应(1)在动力学上属于零级反应,热力学上属于放热反应,反应热为141.8kJ/mol,升高反应温度虽可加快反应速度,但不利于主产物的生成。在优化温度和压力的条件下,可大大提高三氯氢硅的选择性。例如在温度为300～425℃、压力为2～5kPa条件下,硅和氯化氢发生反应,产物以600～1000 kg/h 的流速连续输出,三氯氢硅选择性高达80%～88%,副产物中约有1.0%～2.0%的二氯二氢硅和1%～4%的缩聚物,其余为四氯氢硅。该合成反应中,温度﹑压力﹑硅粉粒度﹑氯化氢气体的流速﹑氯化氢中O2和H2O含量都会对三氯氢硅的收率产生很大影响。 1.2 催化反应机理[4] 铁是最早用于制备三氯氢硅的催化剂。通过在微型反应器中用不同级别的硅对该反应做的研究,结果表明,金属铝的存在对反应也有催化作用,可降低反应温度,提高三氯氢硅收率。其他的研究表明,金属铬在该反应中也能起催化剂作用。目前三氯氢硅合成反应多采用单质铜作为催化剂,催化剂在固体混合物(硅粉和铜粉)中的质量分数约为3%~6%。 对于以铜做催化剂,氯化氢与硅的催化反应机理可以用吸附原理来解释。即在多相催化反应中,反应过程可分为5个阶段:(1)气体反应物扩散到催化剂表面;(2)反应物分子吸附于表面;(3)表面反应;(4)形成的分子从表面解吸;(5)产物扩散到气相反应过程中。在用单质铜做催化剂时,氯化氢被吸附在触体表面,并离解成氢离子和氯离子,2个被吸附的氢原子再结合成1个分子而被解吸,2个被吸附的氯原子与1个硅原子结合生成SiCl2型的表面化合物,它又与另一个氯化氢分子结合成三氯氢硅。 Si+2HCl→(SiCl2)+H2 (SiCl2)+HCl→SiHCl3 2 硅氢氯化法生产技术 用硅作原料合成三氯氢硅的工艺经历了从固定床、搅拌床到流化床的发展过程。固定床反应器中三氯氢硅的收率只有