ch4 电容式传感器及其应用传感器原理及其应用南大俞阿龙课件.pptVIP

第4章 电容式传感器; 应用：在位栘、压力、厚度、物位、湿度、振动、转速、流量及成分分析的测量等方面得到了广泛的应用。;学习目标： 1. 掌握各类电容传感器的工作原理和结构。 2. 分析各种电容式传感器测量电路的特点。 3.掌握电容式传感器的应用。;4.1 电容式传感器的工作原理及类型 ;A;A;;减小非线性误差：;极距变化型差动式输出特性(动极板向上运动): ;差动式比单组式电容传感器的非线性误差减小一个数量级。; 当d0过小, 容易引起电容器击穿或短路。为此, 极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质, 此时电容C变为; 云母片的相对介电常数是空气的7倍, 其击穿电压不小于1000 kV/mm, 而空气的仅为3kV/mm。 因此有了云母片, 极板间起始距离可大大减小。 一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在 20～100pF之间, 极板间距离在25～200μm的范围, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微位移测量中应用最广。 ;变面积型电容传感器原理结构示意图;;注意：变面积电容传感器，可动极板的移动距离不能太 大，否则边缘效应增加，产生非线性，影响测试精度。; 平板形结构对极板移动变化特别敏感，测量精度受到影响。而圆柱形结构受极板径向变化的影响很小，成为实际中最常采用的结构。;当两圆筒相对移动ΔL 时，电容变化量ΔC 为:;;总结;3、变介质常数型电容传感器 ;C1;C1;☆例: 某电容式液位传感器由直径为40mm和8mm的两个同心圆柱体组成。储存灌也是圆柱形，直径为50cm，高为1.2m。被储存液体的εr ＝2.1。计算传感器的最小电容和最大电容以及用在储存灌内传感器的灵敏度(pF/L);4.2 电容式传感器的等效电路和测量电路 ; 图中C为传感器电容， Rp为极板间漏电和介质损耗电阻； Rs包含导线、极板间和金属支座等损耗电阻； Ls为电容器及引线电感； Cp为寄生电容，并联关系。;电路的谐振频率：; 电容式传感器中电容值以及电容变化都非常小, 难以直接为目前的显示仪表所显示 ！ ; 1、 电桥电路;电容电桥的主要特点： (1) 高频交流正弦波供电； (2) 电桥输出调幅波，要求电源电压??动极小，需采用稳幅、稳频等措施； (3) 通常处于不平衡工作状态，所以传感器必须工作在平衡位置附近，否则电桥非线性增大，且在要求精度高的场合应采用自动平衡电桥； (4) 输出阻抗很高(一般达几兆欧至几十兆欧)，输出电压低，必须后接高输入阻抗、高放大倍数的处理电路。;2、 二极管双T型交流电桥;若传感器输入不为 0, 则C1 ≠ C2→I1≠I2→RL上有信号输出, 其输出在一个周期内的平均值为; 电路的特点： (1) 线路简单，可全部放在探头内，大大缩短了电容引线、减小了分布电容的影响； (2) 电源周期、幅值直接影响灵敏度，要求它们高度稳定； (3) 输出阻抗为R，而与电容无关，克服了电容式传感器高内阻的缺点； (4) 适用于具有线性特性的单组式和差动式电容式传感器。 ; 接通电源Q=1, =0：A点高电位通过R1对C1充电, τ1 = R1 C1, 直至F点电位高于Ur, 比较器A1输出正跳变信号。与此同时, 因 = 0, 电容器C2通过VD2迅速放电至零电平。 A1正跳变信号激励触发器翻转, 使Q = 0, = 1, 于是A点为低电位, C1通过VD1迅速放电, 而B点高电位通过R2对C2充电, 时间常数为τ2=R2C2, 直至G点电位高于参比电位Ur。 ;U1—触发器输出高电平;T1、T2—C1、C2充放电至Ur所需时间。;设R1=R2=R，则得; 由此可见, 差动脉宽调制电路能适用于变极板距离以及变面积式差动式电容传感器, 并具有线性特性, 且转换效率高, 经过低通放大器就有较大的直流输出, 且调宽频率的变化对输出没有影响。 ;4、 运算放大器式电路;4.3 电容式传感器主要性能及特点 ;一、主要性能 ;二、特点 ;(2) 结构简单、适应性强;(3) 动态响应好;(4) 可以实现非接触测量、具有平均效应;2、缺点 (1) 输出阻抗高、负载能力差 ;(2) 寄生电容影响大　 引线电缆电容(l～2m导线可达800pF)、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大。 ①降低了传感器的灵