集成电路的性能参数测试.PDF

第七章 集成电路的性能参数测试 直流参数测试 交流参数测试 静态电源电流测试 7.1 直流参数测试 直流测试是基于欧姆定律的用来确定器件电 参数的稳态测试方法 它是在DUT管脚上进行电压或电流测试 在直流测试期间，不应再对器件施加其他的 激励 大规模集成电路测试系统 包括存储器测试系统，系统内斗装有直流(DC)子系统 DC子系统包括可编程(DPS)和高精度的精密测量单元 (PMU) 。 作用： 1 (VFIM) (IFVM) （）具有加电压测电流 和加电流测电压 功能 2 ( ) ( （）具有电压箝位 或过电压保护 功能和电流 或过电流保 ) (DUT) 护 的功保证被测器件 在安全可靠的条件下