固态压力传感器在空压机自动控制中的应用.pdfVIP

维普资讯 CHFMICAJlEN(；INEE】UNI1)I~LSIGN 固态压力传感器在空压机 自动控制中的应用 姚明仁 三峡大学电气信息学院 宜昌 443002 摘要 介绍固态压力传感器加Jx系列中的压力)1}燕敏感元件的特性，并给出了由MPX压力传感器组 成的开关应用电路。将 由M／X压力传感器组成的压力开关装置应用到压缩空气系统中，可 自动控制压缩空 气的压力，使其满足化工生产的要求 关键词 压力传感器 压缩空气系统 自动控制 在化工生产过程 中常用压缩空气，要求压缩空 该器件具有两个电压抽头与两个 电流抽头， 气的压力能稳定在一定范围内，保证生产的正常进 是 一种四端电阻，也是霍尔效应器件的机 电模拟 行。本文介绍压缩空气系统中压力 自动控制技术 产品。当电流 自垂直方向流经电阻 1端和 3端而 的应用。 压力被施加在电流垂直方向时，硅膜即受到应力， 1 固态压力开关电路 产生横 向电场，这个 电压可从电阻分压器的2端 与4端引出。 1．1 传感器特性 12 传感器的选择 固态压力传感器 MPX系列中设计了一种代 要正确选用传感器，所选传感器必须适应于 换机械真空膜盒与步尔顿压力计的高性能、低价 有意义的压力范围。并选用适合于工作需要的传 格的压力开关敏感元件，其工作范围为 l0～ 感器封装。若测量压强一压力，使用 MPx—GP； 200kPa、可以提供机械器件所不具备的重复性与 若测量压强一真空度，使用MPx—GvP；而测量压 精度。线性与滞后优于01％满幅，在使用 1500 差则选用 MPx—DP。如需设计特殊用途的端 口， 万次后 +重复性优于-t-O5％满幅。在较大的温度 则选用 MPx—D。 r 范围内，只需很小的外部电路就可以改善其性能。 例如一个压力开关，其 “触发”压力设定在 MPX系列压力传感器的输出为毫伏级的模 拟信号，与压力(或真空度)输人成正比。这种压 100～200kPa之间，如选定2oo~a为其控制压力， 敏电阻传感器单个 P型扩散电阻放在蚀刻硅膜 则MPx一2ol比较适宜。由于这是一个 环境为 上，蚀刻硅晶体固定在热匹配的熔结玻璃支撑物 参考点的压力开关，故GP封装 比较适用。因而 上，封 闭的真空参考室用作绝对器件，通至外部的 在 100—200kPa压力开关中所使用的传感器类型 开 口用作差压与计量传感器，传感器结构及外部 为MPX--201GP。 接线见图1所示。 1．3 电路设计 简单的固态压力开关见图2。 一 压 图2 固态压力开关 电路 电 l温度补偿 它包括 5项基本功能：①低压 电源；②传感 图1 M／X