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南京信息职业技术学院 电子材料第三章 电阻材料（II） 1、NiSi系膜设备：真空蒸发镀膜设备 1. 机械泵；2. 机械泵阀门；3. 扩散泵加热器电炉；4. 扩散泵；5. 扩散泵冷却水；6.扩散泵阀门；7. 基片加热器； 8. 热电偶；9. 活动挡板；10. 蒸发源加热器；11. 钟罩；12. 热偶管和电离规管；13. 系统放气阀门；14. 旁路阀门：15. 机械泵放气阀门；16. 基片 3.3.4 金属膜 J 1、NiSi系膜膜层电阻率和其他性能取决于:合金粉成分、膜层厚度、蒸发条件、基体表面状态以及热处理温度和时间。 膜层的结构和性能与合金粉的成分有关。用不同的合金粉，所得膜层的阻值和电阻温度系数不同。 膜厚增加，电阻率减小，并逐渐趋近于金属块材的电阻率。膜厚减小到很薄时，因膜层不连续，电阻率很大。 金属膜的电阻温度系数随膜厚也发生较大变化。膜层较厚时，电阻温度系数为正值，随着膜厚增大有所增加。膜层变薄时，电阻温度系数变小，并向负方向增大，膜层越薄，减小幅度越大。因此，可通过选择膜厚得到所需的电阻率和电阻温度系数，一般膜厚为50—100nm。 3.3.4 金属膜 J 1、NiSi系膜特点: 阻值范围宽(10～107Ω)、 电阻温度系数小(5×10-6／℃)、 噪声电平低(-3～+9dB)、 耐热性好(可在200℃下工作)、 稳定性高的金属膜电阻。应用： 可用于制造金属膜电阻器、RJJ型精密金属膜电阻器、微调电阻器、片式电阻器和薄膜电路元件等。 3.3.4 金属膜 J 2 镍--铬系薄膜成分：[NiCr]为主。工艺：镍--铬合金膜一般采用真空蒸发法和阴极溅射法两种方法制成。 真空蒸发法是在10-3～10-4Pa的真空条件下，用电阻加热蒸发成膜。由于Ni和Cr蒸气压相差很大(如在1200℃，Cr的蒸发速率比Ni快100倍)，因此，为了保证膜层中Ni／Cr的特定比例，常用两个蒸发源或用瞬时蒸发法。 阴极溅射法[阴极溅射利用高能离子或中性原子来轰击金属，使金属原子飞出，沉积在基体材料表面形成膜。]则是直接将具有一定成分的镍一铬合金溅射到绝缘基片上。 3.3.4 金属膜 J 2 镍--铬系薄膜 阴极溅射法 3.3.4 金属膜 J 基板 1? 5kV 2 镍--铬系薄膜 特点：Ni—Cr薄膜性能稳定、阻值精度高、电阻率高、阻值范围宽、电阻温度系数小，其具体性能见表2.21。在Ni—Cr薄膜中，如果掺入适量Al、Cu、Mn、Si、Be、Sn和Fe，可以降低电阻温度系数，提高耐热性，增强耐磨能力。 应用：这种薄膜主要用于小型精密电阻器、片状电阻器、精密电阻网络、A／D和D／A转换器等。 3.3.4 金属膜 J 3 合金箔 成分： 3.3.4 金属膜 J O．5～2 0.5 ～ 4.0 O．5～3 2～5 10～30 70 ～ 90 含量／w％ Si Mn Al Cu Cr Ni 成分 3 合金箔 工艺：合金箔电阻是将厚度小于3μm精密合金箔，用环氧树脂粘贴在绝缘陶瓷基片上，再用光刻或激光制成稳定的电阻图形，经调阻、封装而得。 基片：A1203 粘贴的材料：主要是E-7环氧树脂，它的粘结力强，杂质少，粘粒为0.5～1μm。 包封和减震材料：硅橡胶和环氧树脂。 3.3.4 金属膜 J 3 合金箔 合金箔的电阻温度系数自动补偿原理如下：当温度升高时，合金箔沿陶瓷基片长度方向伸长，在宽度方向收缩，这样便产生了形变。由于合金箔的热膨胀系数远大于陶瓷基片，而粘贴胶的弹性小，使合金箔因热膨胀受到基片的限制而产生压应力，在长度方向上引起压应变，导致电阻发生变化。其变化与合金箔在自由状态下的情况正好相反。反之，当温度降低时，合金箔收缩较陶瓷基片的收缩幅度大，使合金箔受到张应力。其张应变引起的阻值变化与自由状态时合金箔的变化情况相反。因此，可对合金箔进行适当处理，从而实现电阻温度系数的自动补偿。 3.3.4 金属膜 J 3 合金箔 特点：合金箔电阻器的主要特点是：阻值精度高、电阻温度系数小、在较宽温度系数范围内实现温度系数自动补偿，跟踪温度系数极小，噪声小，稳定性高，高频特性好，响应快，分布参数小。 应用：合金箔电阻器是目前电阻器中适用效果最好的电阻材料之一。它常用在精密测量、数模转换、航空和航海惯导系统、计算机接口电路及一些特殊要求的系统中。 3.3.4 金属膜 J 主要介绍喷射法，也可用蒸发法、溅射法、浸渍法、烟化法和涂敷法成膜。 工艺：它是将锡锑卤化物混合溶液喷涂到灼热的