第三讲 真空测量.ppt

第三讲真空测量 孚日光伏项目组 提 纲 真空测量技术简介 真空计的类型 真空计校准 真空测量的影响因素 真空计的选用 提 纲 真空测量技术简介 真空计的类型 真空计校准 真空测量的影响因素 真空计的选用 真空测量技术简介 真空测量技术包括气体成分和气体压力测量 真空计:用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器 按真空度刻度方法分为： 绝对真空计：从本身测得的压强物理量中直接算出气体的压力值 相对真空计：通过气体压力有关的物理量以间接方法反映出所测的气体压力值 按测量原理可分为： 直接测量真空计：直接测量单位面积上的压力 间接测量真空计：根据低压下与气体压力相关的物理量的变化来间接测量压力的变化。 提 纲 真空测量技术简介 真空计的类型 真空计校准 真空测量的影响因素 真空计的选用 真空计的类型 按测量原理可分为： 直接测量真空计 静态液位真空计 弹性元件真空计 间接测量真空计 压缩式真空计 热传导真空计：电阻真空计和热偶真空计 热辐射真空计 电离真空计：热阴极、冷阴极和放射性 放电管真空计：利用气体放电的情况和颜色判断真空度 粘滞真空计：振膜式真空计和磁悬浮真空计 场致显微仪 分压力真空计：质谱计 真空计类型 真空计类型： U型管真空计 弹性元件真空计 热偶真空计 薄膜电容真空计 电离真空计 热阴极电离真空计 冷阴极电离真空计 放射性电离真空计 1 U型管真空计 U型管真空计：最早出现、最简单的真空计 测量范围：10～105Pa 分为两种：开式、闭式真空计 1 U型管真空计 开式U型管真空计 P=Po-ρgh P:待测压力，Pa； Po:环境大气压力，Pa； h:液面高度差，m； ρ:工作液密度，kg/m3; g:重力加速度 闭式U型管真空计 P=ρgh 1 U型管真空计 U型真空计的缺点： 读数困难，肉眼所能观察的最小液面差只能达0.5-1mm 开式U型管读数受大气压力的影响 闭式U型真空计受封闭端内工作液放气的影响，管内压力增加 为了延伸测量下限和减小测量误差： 改用密度较小的工作液体。如274硅油、扩散泵油、3号变压器油、硼钨酸镉等 采用斜置式U型管真空计 1 U型管真空计 改进闭式U型管真空计的结构，在U型管左右两支管之间加了一个两通阀 采用电学方法测量液面高度差 采用光干涉法观察干涉条纹的位移，可以确定1.72×10-7 cm的油面变化 2 弹性元件真空计 3 热偶真空计Thermocouple Gauge 热偶真空计原理：利用气体分子的导热性质，通过热电偶产生热电动势来测量真空度。（真空度不同，气体导热性不同，因而热偶温差电动势不同） 3 热偶真空计Thermocouple Gauge 特点： 测量范围：102～10-1Pa 工作温度为100 ～200℃ ，对热丝材料要求是在工作温度和较高压力下具有足够的物理和化学稳定性以及较小的电阻温度系数。 常用材料：康铜-镍锘合金，铂铑-铂，铜-康铜，镍锘-铝镍 被测真空下的各种气体的热导率不同，因而测量结果不同 4 电容式薄膜真空计Capacitance Diaphragm Gauge 电容式薄膜真空计：根据弹性薄膜在压力差的作用下产生应变而引起的电容变化的原理制成的真空计。也称为 membrane vacuum gauge 测试范围：10-1Pa～1000Pa PX-PR=KU2 PX-被测压力；PR-参考压力；U-补偿电压；K-规管常数 4 电容式薄膜真空计Capacitance Diaphragm Gauge 特点： 测量精度高（ 10-1Pa～1000Pa 范围内） 反应速度快（2～100ms） 温度影响小、测量范围宽，下限可达10-3Pa～10-2Pa 抗过载能力强，结构牢固 适于对氧、水蒸汽及油蒸汽等气体压力的测量 5 电离真空计Ionization Gauge 1916年， O.E. Buckley发明了热阴极电离真空计（Hot cathode ionization gauge） 工作原理：利用某种方法使进入规管中的部分气体分子发生电离，收集这些离子形成粒子流；被测分子所产生的离子流在一定压力范围内与气体的压力呈现出正比关系，则通过测量离子流的大小就可以反映出被测气体的压力值。 用途：用于测量小于10-1Pa的气压 电离真空计种类： 热阴极电离真空计 冷阴极电离真空计 放射性电离真空计 5.1 热阴极电离真空计 Hot cathode ionization gauge 热阴极电离真空计 原理：由具有一定负电位的高温热阴极灯丝发射出的电子，经阳极加速后获得足够的能量，在气体与分子碰撞时，使分子电离，产生正离子与电子，电子在一定的飞行路程中与气