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SEMS4800的原理及操作一 SEMS4800的原理二 SEMS4800的操作
SEMS4800的原理及操作
一. SEMS4800的原理
二. SEMS4800的操作
三三.注意事项注意事项 陈惠锋陈惠锋
公共平台
2011-05-10
一. SEMS4800的工作原理
电子枪 电子光学系统
真空系统真空系统
真空泵 成像系统
阳极
聚光器镜头
监视器
电子束电子束 偏转增幅器偏转增幅器
偏转线圈 偏转线圈
物镜 二次电子
检测器
样品
样品室 增幅器
二次电子次电子
真空泵
扫描电镜结构示意图
电子激发样品可获得的各种信号
电子束
XX射线射线 ((～～30kV)30kV)
(元素信息)
背散射电子
((凹凸凹凸·成份信息成份信息))
二次电子(样品的表面信息)
荧光
(化学结合状态信息) 俄歇电子（表层的元素信息）
10nm10nm以内以内
(二次电子逸出深度)
电子散射区域 样品 样品吸收电流样品吸收电流
二次电子二次电子SESE
二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。携
带有样品的表面形貌信息,通常来自样品表面5-50 nm的
区域，能量为0-50 eV。
由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散
射，因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没
多大区别多大区别。。所以二次电子的分辨率较高所以二次电子的分辨率较高，，一般可达到一般可达到5050--
100 Å 。
扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。。
二次电子产额随原于序数的变化不明显，它主要取决于
表面形貌。
背散射电子背散射电子BSEBSE
背散射电子是指由样品反射回来的入射电子。能量较
高高，，与入射电子能量相当与入射电子能量相当。。
背散射电子的
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