PECVD桨位置设定.ppt

步骤4、点击position出现下图状态（进入对桨的水平位置设定的状态），如下图。 步骤5、点击setpoint出现下图状态（进入对桨的水平位置值得设定状态）,如下图。 minimum=0mm、maximum=2082mm、default（默认值）=0 mm. 2 桨的垂直位置 桨的垂直位置可分为上位和下位（作用是将舟在炉管托起和放下的作用） PECVD桨的垂直位置的设定 桨的上下位设置 步骤1、 进入CEASAR界面，如下图 步骤2、点击Mannual 出现下图的状态（进入人工操作状态），如下图 图15 步骤3、点击Boat出现下图状态（进入对桨的位置设定的状态），如下图 步骤4、点击SLS出现下图的状态（进入对桨的上下位设定） 图16 步骤5、点击setpoint出现图下的状态（进入对桨的上下位值的设定）