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2018-06-04 发布于河南
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精密工作台直线电机推力波动补偿研究.pdf

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精密工作台直线电机推力波动补偿研究

·控制与检测· 组合机床与自动化加工技术 ═══════════════════════════════════════════════════════════════════ 文章编号：（） 1001 - 2265 2005 08 - 0032 - 02 精密工作台直线电机推力波动补偿研究* 杨开明，叶佩青，尹文生（清华大学精密仪器与机械学系，北京 100084）摘要：为了抑制直线电机推力波动的影响，提高精密工作台的轨迹跟踪精度，采用了基于跟踪误差分离的方法，将由推力波动引起的跟踪误差分量取出，设计推力波动前馈补偿器，构成PD + 推力波动前馈补偿的运动控制结构。通过实验，与没有推力波动补偿的控制相比较，以的速度匀速运动时工作台的轨迹跟踪精度提高了，以的速度匀速 PD 50mm/ s 1 m 120mm/ s µ 运动时工作台的轨迹跟踪精度提高了4 m。结果表明，该控制方法可以较好的抑制直线电机的推力波动。 µ 关键词：直线电机；推力波动；前馈补偿中图分类号：文献标识码： TP273 A Research of Compensation Based on Force Ripple of Linear Motor for Precision Stage ，， YANG Kai-ming YE Pei-qing YIN Wen-sheng （，，，） Department of Precision Instruments and Mechanology Tsinghua University Beijing 100084 China ：，， Abstract In order to keep the force ripple of the linear - motor in control to improve the tracking accuracy of a precision stage a method ， based on the analytic following error is proposed. The weight of the following error introduced by the thrust fluctuation is extracted and then it is used to build a feed forward compensator for the force ripple. It is the motion control architecture based on the PD plus force ripple feed