薄膜生长基础－1_zfx_.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 一条腿能在水面上支撑起15倍于身体的重量，正是这种超强的负载能力使水黾在水面上行动自如。 水黾 薄膜制备技术基础 薄膜的气相沉淀一般需要三个基本条件：热的气相源、冷的基板和真空环境。 在寒冷的冬天，窗玻璃上往往结霜；人们乍一进入温暖的房间，眼镜片上会结露。不妨将上述“霜”和“露”看做气相沉淀的“膜”，则火炉上沸腾水壶中冒出的蒸汽则是“热的气相源”，冰冷的窗玻璃和眼镜片则是“冷的基板”。 为什么真空环境也是薄膜气象沉淀的必要条件呢？ 一般说来，工业上利用真空有下述几条理由： ①化学非活性； ②热导低；③与气体分子之间的碰撞少；④压力低。通过本章的学习，可以了解真空环境对于薄膜气相沉淀的必要性，并为真空获得、真空测量及真空应用等建立必要的理论基础。 真空定义 真空泛指低于一个大气压的气体状态。与普通的大气状态相比，分子密度较为稀薄，从而气体分子与气体分子，气体分子与器壁之间的碰撞几率要低些。 关于真空的定义，曾有过种种不同的说法。其中一种说法认为：真空就是“真的空了”，就是“什么也不存在的空间”，直到17