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* 为能使底片不容易变形,制作底片环境与曝光房温湿度要一致。 * 制造高水准的P.C.B板,创造一个优良的工作环境是十分必要的,而图形转移室需建立一个无尘室。 无尘室:是以每尺3的空气中所含大于0.5微米的尘粒之数目作为等级的,可分为三级,即: Class 大于或等于0.5μ 1000 1000 10,000 10,000 100,000 100,000 5.4.4 环境控制 注:以美国联邦标准 Fed STD 209B作为分级的规范。 * 除设置无尘室外,还要控制室内温、湿度: 温度:20±2℃ 湿度:50±10RH% 以及干膜区的照明必须为黄色光源以避免对干膜在正式曝光前感光。 * 5.5 常见问题及解决方法 * 注:洗油的板经过褪膜后,须全检板面后才可用于生产。 * 6.1 湿膜组成: 高感光性树脂 光引发剂 稀释剂(有机溶剂或反应单体) 填充料、色料 六、液体光致控蚀剂(湿膜) * 6.2 湿膜的品质 粘度 解像度 附着力 流动均匀、无杂质 光谱特性 显影性及耐显影性 耐蚀刻性和耐电镀性 去膜性能 注:以上是测试新油墨的几种基本项目 * 6.3 生产工艺 1、)基板前处理 干膜的前处理方法可适用于湿膜,但侧重点有所不同,干膜侧重要求铜箔表面微观粗糙度,而湿膜侧重要求铜箔表面清洁度。 湿膜的粘合主要是通过化学键合完成的,为保证这种键合作用,铜表面必须新鲜、无氧化,再通过适当粗化,增大表面积,既可获得较好的粘附力。 * 2)涂覆 即将一层感光油墨均匀地涂布在经过前处理好的铜板表面上,一般可采用丝网印刷或滚涂等方式涂覆。 我厂采用双面滚轴涂布方式(坑纹轮涂布),其工艺流程: 入板 涂布 烘干 出板 * P1 A1 P2 A2 A2 涂布轮 上刮刀 油墨 下刮刀 坑纹轮涂布方式(侧视图) * 坑纹轮涂布方式(俯视图) * 通过调节涂布轮与刮刀之间的压力来确保油墨填满涂布轮的坑纹 * 3)烘干 烘干的目的是蒸发油墨中存在的溶剂。烘干温度、时间及通风的控制非常严格。烘干温度过高(烘干区温度场均匀度要求控制在±5℃),或时间过长,引起显影困难分辨率降低,脱膜困难;烘干不够,曝光时膜层会粘底片,从而造成开路或短路。 * 4)曝光: 平行光 散光源 Defect 底 片 Defect 湿 膜 基 材 湿膜厚度较薄(一般8—14um),曝光时底片与油墨直接贴合, 缩短了光程,降低了光能损耗,减少光散射引起的尺寸偏差。 涂层厚度较薄,采用平行光尘粒影响程度加大,故一般采用散光源。 同时因曝光能量较高,一般采用大功率的曝光机。 * 5)操作环境控制: 1、温、湿度要求: 温度:20 ±2℃, 湿度:50 ±5RH% 2、“无尘室”建立: 净化等级达到一万到十万级 3、照明光源要求: 因湿膜属于感光性材料,工作区应采用黄光 * 6)湿膜的特点: 1、可采用涂布或丝网印刷方式,操作简单,产量高。 2、涂布厚度较薄 3、
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