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纳米金属氧化物气敏薄膜厚度效应的实验规律和理论
第 24 卷 第 11 期 实 验 室 研 究 与 探 索 Vol. 24 No. 11
2005 年 11 月 RESEARCH AND EXPLORATION IN LABORATORY Nov. 2005
纳米金属氧化物气敏薄膜厚度效应的实验规律和理论
袁庆华 , 李 蕾 , 刘文利 , 李建明 , 裘南畹
( 山东大学 物理和微电子学院 , 山东 济南 250061)
摘 要 :给出了动态厚度效应特征时间的公式 ,灵敏度 Sn 与膜厚 l 的关系和存在最佳膜厚的特征 , 电导
激活能随膜厚变化的特征。提出了发展气敏机理的扩散反应功能概念 ;提出了在纳米气敏晶粒中引入
介观效应概念和修正 Fermi 统计的要求。
关键词 :厚度效应 ;特征时间 ;介观效应
( )
中图分类号:O488 文献标识码 :B 文章编号 2005
NanoFilm Thickness Effect of Metal Oxides
and the Correlation Theory
YUAN Qinghua , LI Lei , LIU Wenli , LI Jianming , QIU Nanwan
(College of Physics and Microelectronic , Shandong Univ. , Ji ’nan 250061 , China)
Abstract : The dynamical thickness effect —formula of characteristic time , the relation between sensitirity Sn and film
thickness, the existence optimum film thickness ; the characteristics of conductance activity energy that varies with film
thickness were given. The development of diffusion reaction function in the gas sensing mechanism and the mesoscopic idea ,
the reforming Fermi statistic formula in the nanogas sensing crystals were proposed.
Key words : thickness effect ; characteristic time ; mesoscopic effect
1 动态厚度效应 —特征时间 τ的规律
1. 1 响应时间 τ随膜厚l 的变化
s
( 1) 实验结果 。①反应溅射 ZnO 酒敏薄膜 τ随 l
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