辉光离子渗氮.docVIP

一.离子氮化工艺离子氮化是一种可以显著提高钢铁零件表面硬度﹑耐磨损﹑耐疲劳和耐腐蚀性能的化学热处理工艺。将欲处理零件置于真空炉体内，在真空条件下，往炉内充以稀薄的含氮气体（如氨气或氮氢混合气体）。零件接离子电源阴极，炉体接阳极，阴阳极接数百伏直流电压。由于电场作用，炉内稀薄气体被电离，氮离子定向撞击阴极（零件），零件表面产生辉光放电并被加热。在一定气氛和一定温度下，零件表面复合、吸收氮原子，形成高浓度的含氮层并向心部扩散，经过一段时间，得到工艺要求所需要的氮化层。离子氮化工艺由于其节能﹑省气﹑效率高﹑质量好﹑无污染等优点，在动力﹑机床﹑石化机械﹑轻纺机械﹑摸具等行业中得到了广泛应用。二.离子氮化设备设备主要用于机械零件的离子氮化、离子氮碳共渗(软氮化)等离子化学热处理工艺，使机械零件表面改性，获得所需要的机械性能和物理化学性能。成套设备由离子电源﹑真空炉体﹑真空获得系统﹑测控温系统﹑供气系统组成。2.1.离子电源离子电源分为直流离子电源和脉冲离子电源。2.1.1.直流离子电源直流离子电源主要包括整流变压器﹑可控整流电路﹑L-C 振荡灭弧电路﹑截止反馈电路﹑控制电路。2.1.2.脉冲离子电源脉冲离子电源是在直流离子电源的基础上加装由 IGBT 元件及控制电路组成的斩波器，通过斩波得到占空比可调的脉冲电流。脉冲离子电源与直流离子电源相比，能较好地改善空心阴极效应。脉冲离子电源是在每个工作周内（频率为1KHZ时，周期为1ms）电流回零，辉光熄灭一次，因而提高了灭弧效率。脉冲离子电源能实现电压、电流的独立调节，能滿足不同的工艺要求。脉冲离子电源与直流离子电源相比，节能在15%-20%以上。2.2.真空炉体设备的真空炉体分井式（零件吊挂）、罩式（零件堆放）和综合式三种。真空炉体由炉筒和炉底盘组成。炉筒体用钢板焊接而成，为双层结构，中间可通水冷却。各密封面﹝槽﹞用真空橡胶密封圈密封。炉内装有不銹钢隔热屏﹑阴极盘。炉筒上开有观察窗。进气接口装在炉体顶部。炉底盘上装有阴极输电接口﹑测温接口﹑测压接口﹑抽气接口等。阴极输电装置由阴极杆、密封件、绝缘垫、承重柱和气隙套组成。阴极引线通过阴极输电装置与阴极盘相联。真空炉体必须有良好的密封，以保证工艺对真空度的要求。根据加工零件尺寸和生产能力的要求，真空炉体必须有足够的工作容积。2.3.真空获得系统真空获得系统由旋片式机械真空泵﹑真空电磁阀﹑真空蝶阀组成，通过真空管道与真空炉体连接。电阻式真空计用于测量真空炉体真空度。2.4.测控温系统测控温系统由热电偶﹑控温电路和控温仪表组成。由热电偶得到温度毫伏信号，通过控温仪表PID调节和相关电路，精确控制工件温度。2.5.供气系统供气系统由氨气瓶、氨气减压器、转子流量计和输气管道组成。设备配有两只流量计，一只用于氨气流量调节，一只用于渗碳气流量调节，两种气体经过流量计后混合通入炉内，通过调节流量比例可实现氮碳共渗工艺（软氮化）。三. 离子氮化设备主要技术参数和技术指标3.1直流离子电源主要参数：直流输出电压： 0-1000V可调直流电源最大输出电流： 规 格 LD30A LD50A LD75A LD100A LD150A LD300A 电 流 30A 50A 75A 100A 150A 300A 灭弧方式：LC振荡灭弧和截止灭弧3.2脉冲电源最大输出电流：脉冲电源最大输出电流： 规 格 LDMC30A LDMC50A LDMC75A LDMC100A LDMC150A LDMC300A 平均电流 30A 50A 75A 100A 150A 300A 峰值电流 60A 100A 150A 200A 300A 600A 占空比（脉冲电源）： 0.10-0.85可调脉冲频率（脉冲电源）： 1000Hz控制方式（脉冲电源）： 定频调宽输出波形（脉冲电源）： 矩形方波3.3炉体部分主要指标：炉体有效工作容积： 视规格和用户要求决定工作温度： ≦650℃最大装炉量： 规 格 LD30A LD50A LD75A LD100A LD150A LD300A 零件重量 300㎏ 600㎏ 1000㎏ 1500㎏ 2500㎏ 6000㎏ 零件表面积 1.5㎡ 2.5㎡ 3.75㎡ 5.0㎡ 7.5㎡ 15㎡ 极限真空度： ≤6.67Pa压升率： ≤0.133Pa／min仪表控温精度： ±1℃四.设备特点：1.真空炉体制造增加焊接后时效工序，消除焊后应力，保证各密封面不变形，从而长久保证真空密封要求。2.保护截止电路特殊设计，即使阴阳极之间短路，也能自动保护，决不损坏设备和炉内零件。3.电源的整流电路的可控硅﹑二极管和脉冲发生电路的IGBT元件全部采用摸块，线路简单，