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硅外延
外延生长是半导
体材料和器件制
造的重要工艺之
一。他是指在一
种单晶衬底上沿
原来的结晶方向
生长出一层新的
单晶层的工艺过
程。
1
外延生长也是一种制备单晶的生
长技术。他的优点如下：
• 利用外延生长可以在一块低电阻率的衬底上生长
一层很薄的高电阻率的外延层，然后在外延层上
制作器件解决了高频大功率晶体管要求击穿电压
高和饱和压降
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