第7章高真空技术.ppt

真空系统零件 阀门 球阀 两个环状弹性体紧压于一个金属球表面 金属球上有一个大穿孔 手柄转动金属球使穿孔改变方向 O形密封圈密封 蝶阀 阀板的边缘上嵌有O形密封圈 阀杆带动阀板转动 密封圈与阀体紧密接触关闭，900 体积小。结构简单 第31页/共55页 真空系统零件 阀门 电磁阀 磁力驱动 电磁线圈接通电流，磁力吸引衔铁，带动阀盖，将阀门打开 电磁真空带充气阀 机械泵入口专用阀门 自动放气 第32页/共55页 真空系统零件 阀门 针阀 微调阀 阀塞为针形，主要用作调节气流量 超高真空阀门 能承受高温(400～450℃)多次烘烤 放气量小，气密性好 重复性好 流导大 无氧铜阀盖，不锈钢阀体 第33页/共55页 真空系统检漏 真空检漏的重要意义 抽气过程 极限压强dP/dt=0时 Pu=Q/Se 漏气与放气总和Q对有效抽速Se的比值 物理过程：一边抽气，一边不断的漏气，动态平衡 要得到低的极限压强：提高有效抽速、减低漏气量 漏气形成原因 系统微小裂缝：玻璃、金属、金属-玻璃封接、引线封接 肉眼不能直接观察，必须予以找出并修复（更换） 第34页/共55页 真空系统漏气的判断 抽不到预定的极限真空 材料放气 泵工作不正常 漏气 判断 测量系统压强变化 a: 压强保持P0不变。 既不漏气，也没有放气，泵不正常 b: 开始上升较快，然后饱和。放气 c: 直线上升。漏气，漏气量正比大气压（常数） d:开始上升很快，后来变慢，漏气、放气 第35页/共55页 漏孔大小 漏孔本质 漏气：在压强差作用下气体流动 气体流动：流量（单位时间流过的气体量） 用通过漏孔的流量表示漏孔大小 漏率定义：在漏孔一端为标准大气压，另一端低于0.01大气压，大气露点低于25C（干燥空气），温度23C，空气通过漏孔的流量 只要漏孔漏率相同，就可以认为完全相同 Torr.L/s Pa.L/s 同一漏孔，对不同气体漏率不同 分子态 He漏率为空气的2.7 第36页/共55页 漏率大=危害大？ 不确切 漏入一定气体量 引起的压强增长与容器体积大小有关 漏孔的危害是相对的 泵抽速大小 容器体积 第37页/共55页 容许漏率 极限压强 抽气、漏气（忽略放气）动态平衡 绝对不漏：不可能、不必要 漏孔的漏气足够小，平衡压强小于工作压强 容许漏率：真空系统正常工作所允许的最大漏气量 考虑到材料放气（消耗抽速） 抽速越大、压强越高，容许漏率高 第38页/共55页 常见真空设备容许漏率 漏率（Torr.L/s) 真 空 设 备 102 10 1 10-1 10-2 10-3 10-4 10-5 10-6 10-7 10-8 10-9 10-10 10-11 简单减压装置、真空过滤 减压干燥、真空浸渍 减压蒸馏、真空干燥 真空蒸馏、真空干燥 真空蒸馏、冷冻干燥 分子蒸馏、真空反应器 连续抽气的汞弧整流器 放射性元素容器、保温瓶 真空冶炼设备 回旋加速器 一般高真空抽气装置 宇宙空间模拟设备、半导体真空设备 超高真空设备（连续抽气） 封闭电真空器件（微波管、电子束管等） 第39页/共55页 检漏基本原理 检漏目的 确定真空系统是否存在漏气 找出漏孔位置（修复或更换） 估计漏孔大小（必要时） 方法 压强差 示漏气体 第40页/共55页 利用压强差 原理 漏孔两端存在压强差，就有气体流动 利用气体流动引起的效果，探测漏孔位置 P1P2 气体由内向外流动 P1P2 气体由外向内流动 特点 利用空气，探测简单 灵敏度不够，不能查小漏孔 第41页/共55页 示漏气体和探测器 原理 Pt丝正离子发射-卤素剧烈增长：卤素检漏器 放射性元素-闪烁计数器：放射性元素检漏 质谱计-特种气体：He质谱检漏 第42页/共55页 探测器的响应 响应 示漏气体对准漏孔，到探测器出现反应以及随后变化过程 立刻响应 对上漏孔迅速反应：火花检漏计 快速响应 反应逐步升高，较快稳定：卤素检漏 响应慢但稳定 需要很长时间稳定：静态升压、氨检漏 第43页/共55页 探查法响应 I:示漏气体未对准漏孔，大气漏入，压强稳定 II:示漏气体对准漏孔，空气分压下降，示漏气体分压上升，总压强上升 III:示漏气体离开漏孔，空气漏入，压强恢复 示漏气体分压强建立需要足够的时间 检漏效果与真空系统相关：抽速影响 第44页/共55页 检漏器的性能指标 能检出尽可能小的漏孔 反应迅速（2~3s内反应） 最好既能找出漏孔，又能确定漏率 稳定性好 所用示漏物质空气中含量要小，价廉，无毒，环保 检漏范围宽 结构简单，便于维护 第45页/共55页 检漏技术 压力检漏法 在被检容器内充气，从漏孔泄出，观察漏孔处 打气检漏法 打气（几个大气压） 进入液体中（水），由冒泡确定漏孔位置 1atmN2－水，肉眼观察10