CT PECVD培训课件.pptVIP

上饶晶科光电高科技有限公司 3）打开门，将此炉门气动阀上的两个气管拔下，上面的调节阀不要动。并将气管的头对折后用紧扎带绑紧，防止压力阀开启后漏气。 19.unloading boat 退舟 20.end of process 结束工艺 PECVD操作注意事项（下面罗列的每一项都有可能导致石墨电极损毁或者设备损坏） 1.SLS处于“UP”位置时，管内有舟时不可手动进桨。 2.SLS处于“Down”位置时，桨上有舟时不得手动进舟。 3.桨上有舟时,舟不在正确位置,不准切换到自动运行状态。 4.进舟，退舟失败报警时，一定要检查舟的位置是否在合理的位置，才可以对报警进行复位。自动/手动的切换要谨慎。若舟不在正确位置， 请手动移动到正确的位置后再对报警进行复位（炉门是以桨的位置作为开闭的标准）。图（4）（5） 5.舟位于存储架（storage2，storage3）时，一定要确认存储架上的感应器有没有感应到。图（2）（3），否则有可能导致撞舟。 6.清理碎片时要注意热探针（两根玻璃棒）清理结束后一定要将热探针放于管子的中间位置，否则进退舟时有可能被撞掉。图（6） 7.从手动切换到自动状态时，机械臂一定要在Middle位置，否则机械臂有可能无法正常运行而报警。图（7） 8.进退舟时，小车不得混用，并且务必确认小车有无被缩定。 9.进舟后，工艺无法正常运行时，先确认舟在桨上的位置，以及Tube=ready，SLS=up，TGA=yes，然后进行其他操作 10.小车被锁定后，不得转动石墨电极的方向。图（7）否则石墨电极会撞到桨或者机械臂 11.石墨电极的电极孔方向在进舟时不得搞错，否则有可能撞坏高频的两根电极。 * * To Power Our Future PECVD岗位培训教材 电池设备部 参数的影响 生产／工艺调试 运行时输入 　 （默认720秒） 150、156多晶 6multiv.prz 生产 720秒 150、156多晶 6multi.prz 生产／工艺调试 运行时输入　　（默认900秒） 156单晶 6SINVAR.PRZ 生产 900秒 156单晶 6sin900.PRZ 生产／工艺调试 运行时输入　　（默认720秒） 125多晶 5multiv.prz 生产 720秒 125多晶 5multi.prz 工艺调试/生产 运行时输入 （默认900秒） 125单晶 5sinvar.prz 生产 900s 125单晶 5sin900.PRZ 用途 沉积时间 型号 工艺文件名 沉积时间的不同膜厚也是 不一样的要根据镀膜的颜色来 适当的增加或减少它的沉积时间，片子发白要减少沉积 时间，如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的 确认，不允许把不良品流入到下道工序，如色斑、水印 镀膜不良，应及时挑出做返工处理。 参数的影响 Handing界面的介绍 Arm的位置（Paddle，Middle storage）其余显示均为错误 桨的信息：free 无舟 occupied 有舟 机械臂上石墨舟的感应器 empty：无舟 occupied 有舟 石英管信息显示 ready：准备状态 not ready ：运行状态 机械臂运行状态 free：运行 lock：锁定 显示存储架的存储信息 机械臂目前所的位置 PECVD岗位基本操作及注意事项 BOAT信息设置方法介绍 BOAT信息的设置将直接影响机械臂的自动运 行是否正常。 舟号：点击过后可对BOAT信息设置 运行状态 桨号 管号 工艺号 PECVD岗位基本操作及注意事项 设定实际信息，选择此项后可对信息进行修改 或重新设定。点击取消√后，才可选择 下面一项。 删除此舟的信息 点击进入下一步 PECVD岗位基本操作及注意事项 舟号 硅片规格 此舟的起始位置,一般固定为 Storage1,不做修改。 管号，选择需要在哪管进行工点…“ 下拉键进行选择，选择 Automatic为自动选择管号 此步设置结束后按此键进行下一步设 定 PECVD岗位基本操作及注意事项 此舟的当前实际位置 类型：晶片（一般情况下不作修改 舟的负载类型：晶片工艺（一般不作修改 舟当前的运行状态 （1）no change 不选择，一般舟在 storage 1时选择