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多晶psg调试报告
多晶湿刻蚀机
一、设备简介
1.Machine Specifications
2.Line Process
3.echnical Data
二、工艺方案
1、参数设定
2# 配槽：水165L 氢氟酸1次（16L）
添加：水 1次（1L）氢氟酸 60s（0.5L）
3# 配槽：水45L 氢氟酸1次（19L）硝酸Ⅰ 3次（3*15L）硝酸Ⅱ 4次（4*20L）
添加：水1次（1L）氢氟酸 60s（0.5L）硝酸 70s（0.5L）
5# 配槽：用槽体清洗加水80L
添加：水1次（15L）
7# 配槽：水180L 氢氧化钠1次（12L）
添加：1次（水18L 氢氧化钠1.5）
9# 配槽：水100L 氢氟酸1次（13L） 盐酸3次（3*15L）
添加：
2、换液添加频次
2# 配槽：每天
添加：1000片1次（水16L氢氟酸 L）
3# 配槽：40w片
添加：氢氟酸 540片 60s（0.5L）硝酸1250片 70s（0.5L）
5# 配槽：每天
添加：500片 水1次（15L）
7# 配槽：每天
添加：1000片 1次（水18L 氢氧化钠1.5）
9# 配槽：每天
添加：1000片 1次（）
三、所遇问题
1、减重小0.04g
将刻蚀槽添加时间延长氢氟酸540片90s 硝酸1250片 105s
2、因多晶硅片容易碎片，导致在机器内卡片比较严重，风刀在保证吹干的情况下尽可能的小点。
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