宏微定位平台动力学模型构建和 与仿真分析.pptVIP

宏微定位平台动力学模型构建与仿真分析 1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施 1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施 目的：本课题为光刻机双工件台构造一维动力学模型（宏微两级驱动气浮工作台模型）并作仿真分析，以便为双工件台的控制技术做一些探索与改进。 意义：本课题的完成可以为双工件台的研制提供有用的参考。 1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施 主-从控制设计方法 解耦控制设计方法 并行控制设计方法 PQ控制设计方法 1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施 ADAMS软件 实现气浮宏微平台的一维简单建模 Simulink软件 设计气浮宏微平台的控制系统，实现联合仿真 1、课题来源及研究的目的和意义 2、国内外在该方向的研究现状及分析 3、主要研究内容 4、研究方案及进度安排，预期达到的目标 5、为完成课题已具备和所需的条件和经费 6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施 宏微系统动力学模型示意图 研究方案 气浮宏微定位平台的SolidWorks模型 气浮宏微定位平台的ADAMS模型 宏微定位平台的Simulink模型 宏微控制框图（采用并行双伺服） 宏动台伺服控制原理框图 微动台伺服控制原理框图