第四章 微机械执行器 微机电系统技术知识基础课件.pptVIP

第四章 微机械执行器;微机械执行器;补充：步进电机的原理;补充：步进电机的原理;双相六级;微机械执行器;静电驱动微电机;微机械执行器;3.变电容式微电机的作用原理 （1）转子电极和定子电极间变化电容产生的蓄电能 W=1/2CV2 V为加在转子和定子之间的偏置电压，一般在10-100V之间。 （2）相对于转角θ 的转矩 ;微机械执行器;Date;Date;微机械执行器;微机械执行器;微机械执行器;微机械执行器;7.微电机制造的工艺步骤（接上页） 在转子表面再淀积和填充第二层磷硅玻璃，同时刻蚀出中心轴位置的窗口。 在第一层磷硅玻璃的外环表面上及Si3N4膜外边环处淀积第二层多晶硅膜，并用干法刻蚀出定子结构，定子与转子间的间隙约2微米；再在中部位填充Si3N4，并刻蚀出带轮毂的固定轴。 用HF酸去除全部硅玻璃，余下的多晶硅结构层和氮化硅结构变组成微电机。;步进微电机制造工艺步骤;微机械执行器;补充：同步电机的原理;连续运转的变电容微电机如下图示;微机械执行器;2.同步微电机的制造步骤 （1）在复合膜(SiO2+Si3N4)层上淀积一层厚度约300nm的多晶硅膜，作为电机的基础平面。 （2）在多晶硅层上覆盖一层厚度约2.2微米的磷硅玻璃膜，作为牺牲层，并在上面淀积第二层多晶硅膜，厚度约1.5微米；再在第二层多晶硅上生长一层厚0.1微米的SiO2，起保护多晶硅的作用。 （3）在SiO2层上再淀积一层厚约340nm的Si3N4膜，并用干法刻蚀出大、小窗口。;2.同步微电机的制造步骤 （4）刻蚀出Si3N4衬垫、转子及定子。 （5）淀积一层磷硅玻璃膜，并刻蚀出带轮毂的轴颈；最后用HF去除牺牲层，余下的就够成了同步微电机。;Date;微机械执行器;微机械执行器;微机械执行器;微机械执行器;微机械执行器;微机械执行器;微机械执行器;微机械执行器;微机械执行器;无调节电悬浮电机原理结构说明 将转子沿Z方向拉向定子的分力： 平板有效电容C可表示为 ;微机械执行器;微机械执行器;微机械执行器;对于稳态而言，可视电容近似为常数，在此条件下，上面方程的解为：;施加在电容器上的有效电压为：;电悬浮微电机系统谐振特性;微机械执行器;微机械执行器;微机械执行器;本节总结