基于微流体脉冲驱动控制技术的电化学微流控芯片制备方法.docVIP

基于微流体脉冲驱动控制技术的电化学微流控芯片制备方法 关键字：流体,脉冲,驱动,控制技术,控制,技术,电化学,电化,化学,微流,芯片,制备,方法 基于微流体脉冲驱动控制技术的电化学微流控芯片制备方法 本文为Word文档，感谢你的关注！ 　　摘 要 基于微流体脉冲驱动控制技术搭建了电化学微流控芯片的制备系统。首先将纳米银墨水和甘油溶液分别微喷射到玻璃基底表面形成微电极图形和微流道液体阳模图形；然后分别进行烧结和聚二甲基硅氧烷（PDMS）模塑工艺制得微电极和微流道；最后将微电极和微流道键合形成电化学微流控芯片。研究了系统参量对液滴产生的影响以及液滴直径和重叠率对液滴成线的影响，制得的微电极最小线宽为45 μm、厚度为2.2 μm、电阻率为5.2 μΩ?cm，制得的微流道最小线宽为35 μm，流道表面光滑。采用制得的电化学微流控芯片进行了葡萄糖浓度的电化学流动检测。结果表明，葡萄糖溶液的浓度与响应电流具有较高的线性关系，可对一定浓度范围内的葡萄糖溶液进行定量检测。基于微流体脉冲驱动控制技术的电化学微流控芯片制备方法具有微喷射精度高、重复性好，制备系统结构简单、成本低廉等优点，可用于生化分析、生物传感器等领域的芯片制备。 　　关键词 电化学微流控芯片； 微电极； 微流道 　　1 引 言 　　近年来，随着微加工技术的发展，微流控芯片的集成化和微型化正成为越来越重要的研究方向[1～3]。电化学微流控芯片将微电极集成到芯片材料上，并将溶液中的待测组分转化为电信号，具有微型化、集成化、灵敏度高和消耗低等优点，在基础研究、疾病诊断、环境监测等领域有着广阔的应用前景[4～7]。 　　目前，电化学微流控芯片的制备方法主要是首先分别制备微电极芯片和微流道芯片，然后将两者通过键合工艺键合成电化学微流控芯片。其中，微电极芯片的制备方法主要有光刻腐蚀法、化学沉积法、印刷法等[8～11]。光刻腐蚀法在金属薄膜表面涂覆一层光刻胶，经光刻工艺去除微电极以外的光刻胶，并利用腐蚀工艺去除微电极以外的多余金属。然而光刻和腐蚀工艺成本较高、腐蚀一致性较差、边缘不够均匀。最早用于微流控芯片微流道加工的材料主要是各种玻璃和石英材料，近年来，PDMS等聚合物材料因其具有成本低、化学性质稳定等优点正逐渐成为制作微流道的主要材料。基于PDMS材料制备微流道的方法主要有精密机械加工法、掩模光刻法、激光直接成型法、脱蜡法等[12～15]。Koesdjojo等[15]采用精密机械加工法制作铝板凹槽，将高聚物材料浇铸于凹槽表面，将凹槽图样转化为凸起的阳模，再通过浇铸PDMS转印制得微流道。但这种方法需要精密加工设备，如机床刀具等。 　　微喷打印技术作为一种非接触的增材式制造技术，不仅可以实现微量流体的精确控制而提高制备精度，还能够减少工艺步骤和节约材料。Lee等[16]在PET薄膜表面打印制备了一层银薄膜，并利用脉冲激光器对烧结的区域进行照射，制得了线宽为20 μm的微电极。Kim等[17]采用压电式喷墨打印机在PDMS基底表面制备了尺寸为40～90 μm的微电极，并对微电极的制备性能进行了研究。Wu等[18]对PDMS表面进行改性以提高银的粘接性能，然后在PDMS材料表面采用喷墨打印法制备了微电极。Lu等[19]在硝酸纤维素膜（NC膜）上打印制作了石蜡图案，然后加热使石蜡渗入膜内形成亲疏水相间区域，通过提拉法制得了液体阳模，经倒模工艺制得PDMS微流道。上述制备微电极和微流道的方法结合了微喷打印、光刻、腐蚀和模塑等技术，制备过程较复杂，成本较高。制备过程中使用的商用打印机和激光器?r格高昂，并且打印机的微喷嘴不易拆卸与维修，一旦喷嘴被堵，会造成较大的损失。 　　本研究基于微流体脉冲驱动控制技术[20]，通过一种无内嵌微可动件、结构简单、以脉冲惯性力为主动力的微喷射系统，将纳米银墨水和甘油溶液分别微喷射到基底表面，形成微电极图形和液体阳模图形，分别经烧结和模塑、键合等工艺，制得电化学微流控芯片。本研究考察系统参量和制备参数对液滴成线的影响，制备了微电极和微流道，并利用制得的芯片对不同浓度的葡萄糖溶液进行了流动检测。 　　2 实验部分 　　2.1 实验材料与试剂 　　纳米银导电墨水（JET600C，昆山海斯电子有限公司，粘度30 cp）；甘油溶液（70%， V/V， 粘度20 cp）、葡萄糖、壳聚糖、戊二醛、磷酸盐缓冲液（上海凌峰化学试剂有限公司）；NaOH、HCl、乙烯基三乙氧基硅烷、甲醇（国药集团化学试剂有限公司）； 葡萄糖氧化酶（上海金穗生物科技有限公司）。硼硅酸盐玻璃毛细管（600 μm × 100 mm）、石英毛细管（250 μm×50 mm，北京正天易科贸有限公司）。 　　2.2 实验方法