大功率它激式电子管射频电源设计及实验分析-design and experimental analysis of rf power supply for high-power external excitation tube.docx

1绪论射频激励CO2激光器在近20年来得到了迅速的发展。由于其具有注入功率密度高，工作电压低，放电均匀稳定，输出功率可以调节，可以实现从连续到脉冲的转换及脉宽和频率可调的优点，所以在工业生产中得到了广泛运用。1.1射频CO2激光器射频激励技术在CO2激光器中的应用，是CO2激光器发展的一个里程碑。射频激励技术使激光器可以在很小体积得到高达千瓦的功率输出[1]，为大功率CO2激光器的发展提供了广阔的前景。射频放电的无电极放电的可能性，以及正阻抗特性，使射频激励激光器具有一系列性能和结构上的明显优越性。除体积小、紧凑外，还能提高激光器的效率、输出功率、寿命、光束质量和可靠性，以及易于调制和编码等[2]。根据不同的侧重点，射频CO2激光器有很多不同的分类方法。根据腔体结构可以分为：单波导结构；折叠结构；波导阵列结构；板条结构；同轴结构等。下面将简单介绍这几类激光器。（1）单波导结构单波导的腔体是单一波导放电腔。上个世纪七十年代，发明了圆柱形单波导腔，腔的材料由玻璃或陶瓷组成。电极放在圆柱放电管的外部，接地电极与金属真空密封的激光头壳体紧密配合。金属真空密封的激光头壳体当做射频场的屏蔽层。后来发明了正方形截面射频放电腔，1979年Laakmanns等人提出了第一个完整的横向激励射频CO2激光器框架，它采用正方形截面波导的射频放电腔结构[3]。随着射频激励扩散冷却单波导CO2激光器技术的发展