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PECVD生产操作规程 葛成林 1 安全警告 设备带有高压、易燃易爆特种有毒气体、射频辐射等危险 严禁无关人员和小孩进入机器黄色区域 机器生产运行时，严禁拆设备任何部件。 未经培训和许可严禁操作设备，不正确操作设备可能损坏设备，严禁乱操作计算机。 3 安全与标识 威胁人身伤亡或健康 微波辐射危险 微波泄露限制：根据最新科学研究和世界许多国家执行规定，距易接近设备部件5cm处微波泄漏小于5mw/cm2 热的表面 3 开机 开总电源 启动计算机 检查冷却水 检查气源 启动真空泵 加热 3.4 检查冷却水 冷却水压力应在4kg/cm2--6kg/cm2范围内 先打开冷却水出水阀，然后打开进水阀 3.4 检查气源 打开压缩空气阀，压缩空气为 5kg/cm2--7 kg/cm2 打开氮气阀，氮气压力为3kg/cm2 打开CF4和O2阀，压力为3kg/cm2 打开SiH4和NH3阀，压力为3kg/cm2（警告：开特气需培训合格者，确保特气管路中无O2或压缩空气) 3.5 启动真空泵 开冷却水，压力最大4kg/cm2 开N2，压力应在1KG/CM2 启动真空泵 如果是冷泵，手动关闭蝶阀，真空泵预热 4 选择工艺单、生产 5.2 关墙壁气箱中特气阀，特气管路吹扫 关上位于墙壁气箱中特气阀 通知经过培训的设备人员进行特气管路吹扫 5.3 关真空泵 运行停泵工艺PUMPOFF.PRZ 等电脑提示停泵 等泵冷却后关闭N2和冷却水 5.4 退出控制程序，关主电源 密码登陆关闭控制软件CMI，计算机显示回到windows画面 进行正常关计算机操作 相邻两条线四台PECVD全关闭计算机后，关闭主电源 5.5 关上压缩空气、氮气、冷却水 关上压缩空气、氮气阀 等机器冷却后可关闭冷却水，先关进水阀，然后关回水阀 PECVD生产操作规程 完 * * 硅烷是极易燃易爆气体 硅烷灭火仅通过关闭气源 硅烷燃烧生成石英砂 预防： 定期设备检查 培训合格，有特殊能力的人操作 机器安全保护 硅烷气体泄漏探测器 2 硅烷 Silane SiH4 氨气 Ammonia NH3 腐蚀性 对眼睛、皮肤、呼吸系统伤害 高浓度致命 低浓度易燃 预防：同硅烷 另外避免吸湿和检查阀体及管路锈蚀情况 触电危险 戴防护眼镜 戴防护手套 3.1开总电源开关： UPS不间断电源---控制电源 市电---加热、驱动、真空泵 3.2启动计算机----开电源后自动启动，输入密码。 在CESAR界面， manal/T-paddle/All/setpoint=450 3.6加热： 5 关机 5.1检查所有管工艺运行结束，降温 5.2关墙壁气箱中特气阀,特气管路吹扫 5.3关掉真空泵 5.4退出控制程序,关主电源 5.5关上压缩空气、氮气、冷却水 说明：短时间不用不需关设备，维护和放假才可能关闭设备。平凡关闭设备易引起故障。 5.1 工艺运行结束后降温 在CESAR界面， manal/T-paddle/All/setpoint=25 为了加快降温速度可向管灌N2到大气压 Manal/gas/N2NO/valve/open(开气) Manal/gas/N2NO/valve/close(关气)