高导热绝缘氮化铝薄膜的制备、性能及在led上的应用分析-preparation, properties and application analysis of aluminum nitride film with high thermal conductivity and insulation on led.docxVIP

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2018-05-30 发布于上海
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高导热绝缘氮化铝薄膜的制备、性能及在led上的应用分析-preparation, properties and application analysis of aluminum nitride film with high thermal conductivity and insulation on led.docx

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高导热绝缘氮化铝薄膜的制备、性能及在led上的应用分析-preparation, properties and application analysis of aluminum nitride film with high thermal conductivity and insulation on led

目录中文摘要..........................................................................................................................................I英文摘要.........................................................................................................................................II1 绪论.............................................................................................................................................. 11.1 问题的提出及研究意义 ....................................................................................................... 11.2 国内外研究现状 ................................................................................................................... 11.2.1 氮化铝(AlN)晶体的结构与能带结构11.2.2 氮化铝的性能 ............................................................................................................. 21.2.3 氮化铝薄膜的制备方法 ............................................................................................ 31.2.4 氮化铝薄膜的应用前景和发展方向 ........................................................................ 51.3 本文研究的目的和主要内容 ............................................................................................... 81.3.1 本文研究的目的 ........................................................................................................ 81.3.2 本文研究的主要内容 ................................................................................................ 82 氮化铝薄膜的制备和表征 .............................................................................................. 92.1 薄膜的制备方法 ................................................................................................................... 92.1.1 直流磁控溅射原理 .................................................................................................... 92.1.2 射频磁控溅射原理 .................................................................................................. 102.1.3 反应溅射 .................................................................................................................. 112.1.4 粉末溅射