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等离子体物理学的应用 摘要：本文介绍了等离子体的概念及低温等离子体的发生技术和原理，还有真空等离子体的装备技术和其应用，其内容涉及等离子体的聚合、合成、接枝、纳米粒子/粉体包覆、等离子体增强沉积生物适合层及低温等离子体灭菌技术以及等离子体沉积(如磁控溅射，过滤阴极电弧沉积，等离子体化学气相沉积)，等离子体刻蚀(电容式和电感式)及等离子体表面处理技术。 关键字：真空 等离子体 薄膜 接枝 聚合与合成 灭菌 1 一、引言 等离子体作为物质存在的第四态不仅已为人们所认识，而且等离子体技术已进入广泛的实际应用领域[1-26]。等离子体指部分或完全电离的气体，且自由电子和离子所带正、负电荷的总和完全抵消，宏观上呈现中性电。 国际上将等离子体分为热等离子体（Hot plasma）和冷等离子体（Cold plasmas）[38]。热等离子体的电离率接近100％，电子和离子温度相当，属于（准）热平衡等离子体。如等离子体弧、火箭发动机的等离子体射流，热核聚变等离子体。 低温等离子体的电离率较低，电子温度远高于离子温度，离子温度甚至可与室温相当。所以低温等离子体是非热平衡等离子体。低温等离子体中存在着大量的、种类繁多的活性粒子，比通常的化学反应所产生的活性粒子种类更多、活性更强，更易于和所接触的材料表面发生反应，因此它们被用来对材料表面进行改性处理。与传统的方法相比，等离子体表面处理具有成本低、无废弃物、无污染等显著的优点，同时可以得到传统的化学方法难以达到的处理效果。20世纪七八十年代起,等离子体在对金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等诸多领域的应用研究开始蓬勃发展，形成向多学科交叉的研究方向。 早期的大部分工作主要集中在低气压低温等离子体环境下的等离子体表面改性研究，为了工业应用的便利和廉价，最近几年来，大气压非平衡等离子体发生技术及其应用是目前备受关注的热点，涉及 2 应用领域也非常宽广 二、低气压非平衡等离子体技术的应用研究 近20年来，高分子等离子体化学已在增强合成薄层高分子结构（沉积和接枝）、聚合材料的??面功能化、无机或聚合物基材表面的刻蚀这三个方向得到飞快发展。等离子体灭菌技术也得到应用。 1）有机和无机材料的表面功能化处理 1.1不同聚合物表面的相容性增强 复合材料发展目标是创造出将各单元体的功能要素结合起来而获得需要的功能的产品。提高双基材复合物的可加工性、先进的机械性能、化学稳定性、生物降解性等特性是可以实现的。为了达到必须的表面能兼容性，需要对原材料（其中一种或两种都要）进行表面改性。传统的兼容性技术是化学湿法进行材料组织的改性。但是聚烯烃类的材料的表面改性就非常困难，因为这些材料根本没有化学活性。 粒子填充合成：作为石化塑料的替代品，淀粉基和糊精基合成物有许多应用。它们可以生物降解，还能够通过现代处理技术保持特殊性质，包括在熔融态的可加工性和防水抗恶劣环境。为了满足这些要求，必须对淀粉进行化学或物理改性后与合成的聚合体和可塑剂混合。在聚合合成过程中，占重量比6～30％的粒状或制成胶状的淀粉通常作为功能添加剂或填充物，等离子体技术提供了高效改性天然聚合体原料的路线。与传统的化学湿法改性相比，等离子体改性技术的优点有：干法处理无污染；能够在较宽的气压范围进行；仅对表面改性；对材料内部没有影响；效能高。 1.2等离子体增强表面生物适合性 3 生物适合性是指材料与生物系统具有很好的相容性，没有排异行为。研究医学和生物学问题的科学家及工程师对生物适合性进行广泛的研究，生物适合性是一个非常复杂的现象，其机理还不完全清楚。主要是缺乏对活的有机体内的详细了解。由于每年越来越多的人体部件需要更换成人造的，生物适合性问题变得非常重要。用来改变材料表面物理化学性质的传统化学湿法处理方法常常在应用时收到限制。归因于该技术的复杂性、处理过程对环境不友好、高劳动强度以及经济性不好。用等离子体改性的方法产成生物适合性表面。对细胞与暴露在非平衡等离子体中的材料表面的响应的研究表明，氧、空气和水蒸气等离子体气氛在各种基材表面植入了羟基（hydroxyl）、羰基（carbonyl）、.羧基（carboxyl）和其它官能团，这些活性基团对细胞粘连和生长机制起到重要作用。 1.3等离子体粉体/纳米颗粒包覆 纳米材料作为提高聚合物材料的各种性能在合成挤塑过程中被添加进去。由于分散性及相容性不好，往往改性效果不佳。利用等离子体对纳米材料进行包覆处理可以解决。超细二氧化钛（TiO2）是一种十分重要的无机材料。其独特的紫外线屏蔽、光催化作用、颜色效应等功能使其一经面世即倍受青睐，在防晒、杀菌