润滑介质在微马达中铁氧体 2f红宝石摩擦副表面摩擦学研究.pdfVIP

微传感器、微执行器、微结构、信号处理与控制、接口和能源，微系统就是建筑 在上述基础上的，见图1．2。 力 斗 传 执 一模扭信号煺H赦字信号处理Hi赢ih 打—一 l光卜 l声b 感 行 I温度卜 【 l化学卜器 可可_U 器 与其它带系统的通讯／接口 I其它L+ 图I-1微机电系统模型 MEMSCONSTRUCTION Fig．1-2 图1-2微机电系统基础 微机电系统有许多独特的优点，如体积小、重量轻、性能稳定、可批量生产、 性能一致性好、惯性小、功耗低、谐振频率高、响应时间短等，能完成大尺寸系 统不能完成的任务【2J。从研究开发来说，值得注意的是微系统的多学科综合性、 突破性、带动性和创新性等特点。多学科综合性指微机电系统是多学科前沿的综 合．广泛涉及微电子学、微机械学、化学、生物学等，还涉及元器件和系统的设 计、制造、测试、控制、集成、能源、材料，以及与外界联接等许多方面。突破 性指相对于传统大尺寸机电系统概念上的突破，特征尺寸小到微米和／或纳米量 级，大尺寸机电系统的某些物理特性可能会不适用，需要进行微小尺寸机械的机 理研究，突破传统理论的限制。带动性是指微机电系统是一项带动科学技术、国 民经济和国家安全等方面发展的关键技术．将对2l世纪的军事、科学技术、生 产和生活方式产生革命性影响，并引发新兴产业和武器装备变革。创新性则指微 机电系统本身就是科技创新的产物，其概念、机理、设计、加工等方面都不同于 传统的大系统。 1．1．2微机电系统的发展 微机电系统的研究．由美国斯坦福大学于1970年开始。到80年代中期制成 尺寸不到lmm2的齿轮和静电执行器。1975—1985年是微型机械的酝酿期，这一 阶段主要是用制作大规模集成电路的IC技术制作传感器。1987年以后，美国各 部门投入大量经费资助微机械开发，随后日本和西欧各国也相继将微机械视为重 要发展领域。1986～1989年是微型机械的产生期，主要是用Ic技术制作微型机 械的零部件。90年代以后是其发展期，这一阶段各种超微加工技术(如：纳米 技术)相继用于微型机械的制作。我国对微型机械的研究也已经起步，主要研究 力量集中在大学和研究所，初步取得了一定成果，但与发达国家相比，还有不小 的差距。 科学家提出了“小机器，大机遇：关于新兴领域．微动力学的报告”的国家计划 (美国国防部先进研究计划署)的大力资助。日本通产省自1991年度开始实施 为期10年、总投资250亿日元的“微型机械技术”研究开发计划。90年代后期 ofExcellencein 欧洲联络了300多个相关机构，组成NEXUS(Network Mulfifimctional 美元。这些大型的国家计划，促进了微传感器、微执行器和微系统的发展。MEMS 的专利曲线可以反映这个特点(图1．3)。世界MEMS专利年增长率为37％，远 高于美国每年22％的增长率。MEMS的研究开发队伍日益壮大，学术期刊、国 际会议增加。 GrowthofMEMSPatents Fig．1—3 图1-3MEMS专利增长曲线 细胞操作、细胞融合 微阀、智能阀、微泵 微光纤开关、微光学探头 血管、肠道内自动送药、 微量元素分析