射线装置应用项目竣工环保验收监测报告.doc

建设项目竣工环境保护 验收监测报告 中辐环验字 [2017] 第RM0004号 项目名称： 射线装置应用项目 委托单位： 成都海威华芯科技有限公司 成都中辐环境监测测控技术有限公司 目 录 1 前言 1 1.1 项目和验收监测的由来 1 1.2 验收监测的主要内容,射线,监测因子,布点简述等 3 1.3 验收监测项目的范围 3 2 验收监测的依据 4 3 项目工程概况 5 3.1 项目基本情况 5 3.1.1 项目名称、地点、建设单位及性质 5 3.1.2 项目工程内容与规模 5 6 3.3 项目平面布置 6 3.5 项目工艺流程及产污环节 6 3.6 项目劳动定员及工作制度 11 4 项目环评结论与批复要求 13 4.1 项目环评结论 13 4.1.1 结论 13 4.1.2 要求和建议 13 13 4.3 项目实际建成情况和环评内容的差异 15 5 验收监测评价标准 16 17 6.1 监测因子及分析方法 17 6.1.1 监测因子及点位的确定 17 6.1.2 监测方法及方法来源 17 17 6.3 验收监测的实施 18 6.3.1 验收监测期间的工况 18 6.3.2 监测结果 18 注：以上数据均未扣除辐射环境值，监测布点图见附图。 18 6.3.3 监测结果分析 19 20 7.1 项目三同时执行情况 20 7.2 环境保护设施建设及运行情况 20 .3 辐射安全管理及防护措施落实情况 21 7.4 个人剂量档案管理检查 24 8 验收结论 25 1 前言 项目名称 建设单位 建设地点 毛嘉艺 联系人 蔡璐瑶 联系电话 028邮政编码 610213 建设性质 建(改扩建(改建( 四川省环境保护厅 批复文号 川环审批〔201〕 总投资 （万元） （万元） 4.81％ 在公司器件厂房A（G07楼）二楼洁净室内真空区工艺区安装使用1台型号为Varian EHP500的离子植入机，年最大出束时间为960h,属于Ⅱ类射线装置；在二楼洁净室内光刻工艺区安装使用1台型号为Hitachi SU8230型扫描电镜，年最大出束时间为1008h,属于Ⅲ类射线装置。（川环审批〔201〕 在公司器件厂房A（G07楼）二楼洁净室内真空区工艺区安装使用1台型号为Varian EHP500的离子植入机，年最大出束时间为960h,属于Ⅱ类射线装置；在二楼洁净室内光刻工艺区安装使用1台型号为Hitachi SU8230型扫描电镜，年最大出束时间为1008h,属于Ⅲ类射线装置。 1.1 项目和验收监测的由来 成都海威华芯科技有限公司（原名：成都嘉石科技有限公司）位于成都物联网产业园区内，为填补国内6吋第二代/第三代半导体集成电路制造线的空白，成都海威华芯科技有限公司投资建设6吋第二代/第三代半导体集成电路芯片生产线，主要包括砷化镓/氮化镓芯片生产线、SIP封装生产线、研发中心等，各生产线建成后可形成砷化镓半导体芯片40000片/年、氮化镓半导体芯片30000片/年，SIP封装30000片/年的生产能力。该公司已于2013年8月7日取得四川省环境保护厅《关于成都嘉石科技有限公司6吋第二代/第三代半导体集成电路芯片生产线项目环境影响报告书的批复》（川环审批[2013]460号）。 成都海威华芯科技有限公司主营6吋第二代/第三代半导体集成电路制造线业务，6吋第二代/第三代半导体的生产量大，质量要求高，为满足生产需要，该公司拟在器件厂房A（G07楼）二楼洁净室内真空工艺区新增1台II类射线装置—离子植入机，同时在该楼同一楼层的光刻工艺区内新增1台III类射线装置—扫描电镜，以满足产品生产的需求。 按照《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国环境影响评价法》、《中华人民共和国放射性污染防治法》、《放射性同位素和射线装置安全和防护条例》（国务院令第449号）和《放射性同位素与射线装置安全和防护管理办法》（国家环保部令第18号）的规定和要求，本项目需进行环境影响评价。根据国家《建设项目环境影响评价分类管理名录》中第13条规定，建设方委托四川省核工业辐射测试防护院开展环境影响评价工作，编制了成都海威华芯科技有限公司《射线装置应用项目环境影响报告表》，并取得了四川省环境保护厅批复（川环审批[2016]178号 现该项目已建成建设单位依据γ辐射剂量率测定规范》、《射线装置应用项目环境影响报告表》、川环审批[2016]178号等相关规定表1-1 射线装置清单 装置名称 工作场所 类别 数量 活动种类 备注 I-MED-01 G07楼2楼洁净室内真空工艺区 II类 1台