超精密加工概论 newMaker.pptVIP

奈米級超精密切削技術簡介 奈米級超精密加工技術 奈米級超精密切削 超精密車床 ─ 高精度高速旋轉主軸(靜油壓，空壓軸承)， 傳動機構精度高，剛性高，微細進給(1um以下)， 精密量測控制裝置。 被削材 ─ 磁碟、磁鼓、球面鏡等電子光學元件與精密模具 Cu、Au、Ag、Al、Pt、Pb、electroless Ni、Be、 Brass、Si、Glass 、 、 等。 20 ~ 50 nm Rmax 的面粗糙度。其值可更小，但 取決於加工機械的運動精度。 紅外線窗用材料，面粗糙度 Rmax (nm) SrF2(23)、ZnS(40)、CaF2(43)、NaCl(45)、ZnSe(76)、Ge(27 ~ 137)。 奈米級超精密切削 單點鑽石超精密車削 (SPDT) 鑽石刀具 ─ 劍形形狀，側切刃角 0 ~ 50C，斜角小00 ~ 正 ，單晶天然鑽石車刀。 切削條件 ─ feed：0.01 ~ 0.1mm/rev → 1 ~ 40 nm DOC：0.2 ~ 0