第3章电容式传感器MOOC3-0-01.pdf

传感器技术 主讲人： 吴琼水 武汉大学电子信息学院 第3章 电容式传感器 概述 各种电容式传感器示例 电容式接近开关 差压传感器 电容式指纹传感器 电容式键盘 概述 各种电容式传感器示例 飞机油量检测 电容 式加 速度 传感 器 利用加速度传感器实现 延时起爆的钻地炸弹 概述 各种电容式传感器示例 硅微加工加速度传感器 测量管道液位高度 概述 各种电容式传感器示例 电容器是电子技术的三大类无源元件(电阻、电感和电容) 之一。 利用电容器的原理，将非电量转换成电容量,进而实现非电 量到电量的转化的器件或装置，称为电容式传感器。 它实质上是一个具有可变参数的电容器。 概述 与电阻式、电感式传感器相比的优点： 1.测量范围大：相对变化量可达100%。 -7 2.灵敏度高：可达10 。 3.动态响应时间短：可动部件质量小，固有频率高，适合于动态信 号的测量。 4.机械损失小：电极间引力小，无摩擦，热效应小，因此，精度高。 5.结构简单，适应性强：金属做电极，无机材料绝缘支撑，能承受 大的温度变化和强辐射，适合于恶劣环境工作。 概述 与电阻式、电感式传感器相比的不足之处： 1.寄生电容影响大：导线电容、泄露电容。降低了灵敏度，非线性 输出，甚至不稳定。 2.当用变间隙原理进行测量时，具有非线性输出特性。 由于材料、工艺，特别是测量电路及半导体集成技术等方面已达到了 相当高的水平，因此寄生电容的影响得到较好地解决，使电容式传感 器的优点得以充分发挥。 应用： 压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分 含量等测量之中。