扫描电子显微镜的构造与工作原理.pptxVIP

1 扫描电子显微镜的构造和工作原理 电子光学系统 信号的收集和 图像显示系统 真空系统 扫描电镜结构原理示意图 2 电子光学系统 电子光学系统包括： 电子枪 电磁透镜 扫描线圈 样品室 3 电子枪 扫描电子显微镜中的电子枪与透射电子显微镜的电子枪相似，只是加速电压比透射电子显微镜低。 4 电磁透镜 扫描电子显微镜中各电磁透镜都不作成像透镜用，而是作聚光镜用。它们的功能是把电子枪的束斑（虚光源）逐级聚焦缩小，使原来直径约为50μm的束斑缩小成一个只有数纳米的细小斑点。 扫描电子显微镜一般都有三个聚光镜。前两个聚光镜是强磁透镜，用于缩小电子束光斑；第三个聚光镜是弱磁透镜（称为物镜），具有较长的焦距。目的是使样品室和透镜之间留有一定的空间，以便装入各种探测器。 扫描电子显微镜照射到样品上的电子束直径越小，相当于成像单元的尺寸越小，相应的分辨率就越高。 普通热阴极电子枪的束径可达到6nm左右。 5 扫描线圈 扫描线圈的作用是使电子束偏 转，并在样品表面作有规则的 扫动。图示为电子束在样品表 面进行扫描的两种方式。 进行形貌分析时采用光栅扫描方式（a），当电子束进入上偏转线圈时，方向发生转折，随后又由下偏转线圈使它的方向发生第二次转折，发生二次偏转的电子束通过物镜照射到样品表面。 如果电子束方向经上偏转线圈转折后未经下偏转线圈改变方向，而直接由物镜折射到入射