洁净技术基本教育材料_1_06Y06M.ppt

洁净技术 教育材料-1 生产技术Cell部 李钊 2006-06 目录 基本概念 洁净技术 Clean room 基本概念 洁净室的分级 洁净室的类型和高效空气过滤 洁净室内的服装要求 惰性粒子的来源与传播 不同洁净级别的服装选择 洁净服的面料 洁净服的清洗和更换 口罩和手套 洁净室的清洁 洁净室的清洁方法 清洁效果测试 Smock room 出入行为规范 Smock room 出入的一般规定 Smock room 入室/出室顺序 无尘服穿戴顺序 Clean room 内禁止事项 基本概念--什么是洁净室技术？ 基本概念--Clean Room是什么? 凡是能将空气悬浮粒子（气溶胶）计算浓度保持在一定范围的房间，或在必要时，将空气微生物的数量保持在一定范围内的房间，可称作洁净室或洁净房 (如)手术室， 制药厂,半导体,电子材料制造厂, LCD制造厂等 粒子？ 粒子是固体、液体、多相物质或微生物，大小为0.005~100微米。现在对洁净室分级时，一般以0.1~0.5微米的下限粒径粒子为准。肉眼可见的粒径大约 50μm。 基本概念--洁净室分级标准 洁净室分级标准 1961年美国空军于颁布第一个专为洁净室撰写的标准称为“技术手册（T.O.）00-25-203”。 1963年 发明单向流理念的圣地亚公司 撰写了第一个FS209 标准，成为包括ISO 14644-1在内的大多数国际标准的基础。 1999年国际标准化组织出版了洁净室的系列标准ISO 14644-1。 美国在2001年废纸FS 209E开始实施ISO 标准，俄罗斯 于2000年开始实施ISO 标准。 基本概念--洁净室的类型 紊流洁净室内的气体流动示意图 基本概念--高效空气过滤 基本概念--高效空气过滤 洁净室内的服装要求 1--惰性粒子的来源与传播途径： 人员散发的粒子数量人与人之间差异很大，但人的活动越大散发的粒子就越多；还要看所穿着的服装。 散发粒子的范围一般是大于等于 0.5μm的粒子几十万（活动状态）~千万（剧烈活动）/分钟。 人大约每天脱落6~13g 粒子，一年约3.5kg。 洁净室内的服装要求 洁净室内的服装要求 粒子的来源与释放机制 皮肤： 人体皮肤每天大约脱落10E9个皮肤细胞，皮肤细胞大小约33μm *44μm，以完整的皮肤细胞或细胞破损碎片形态脱落，大量皮细胞会散布到空气中，构成主要的悬浮污染源。 洁净室内的服装要求 人几乎是洁净室中微生物的唯一来源，悬浮在空气中的皮细胞所携带的微生物基本是细菌。带有微生物的皮细胞的粒径大大高于空气中惰性粒子的粒径（1~100μm，平均当量直径10~20μm），所以很多带微生物的粒子均小得足以穿过洁净服面料上的微孔。 洁净室内的服装要求 2-不同级别洁净室内服装的选择标准 2-1-洁净服 2-1-1面料： 不易破损（起毛） 对洁净服下污染的过滤能力 （可测量 空气穿透率、粒子滞留情况、微孔孔径） 最常用聚酯纤维，一次性洁净服使用高密度聚乙烯无纺合成纸面料。 2-1-2洁净服的清洗和更换 多次使用的服装要在洁净室洗衣房中实施，顺序如下： 洁净室内的服装要求 2-2-口罩和手套 口罩： 人在大喷嚏、咳嗽、说话时从嘴里喷出大量唾液沫；成分有盐分和细菌。必须戴口罩加以控制。最喷出的唾液粒子的粒径大小不一，从1μm~1000μm。其中2μm~100μm粒子及唾液占全部的95%。每毫升唾液一般含有不少于10E7个细菌，但并非喷出的所有唾液沫中都含有细菌。由于重力作用大粒子会迅速沉降，小粒子会变干汇入空气循环过程。 含水粒子的沉降时间 100μm 的粒子沉降1米需要约3秒 10μm 的粒子沉降1米需要约5分钟 粒子的干燥时间 1000μm的含水粒子，水分蒸发需要3min 200μm的含水粒子水分蒸发约7sec 100μm的含水粒子水分蒸发约1.6sec 50μm的含水粒子水分蒸发约0.4sec 洁净室的清洁 可参照美国环境科学与技术协会推荐准则 RPCC018：洁净室管理-运行和监测程序 要有下列意识： 如果能够看到洁净室内有尘埃，则它就既不是一个洁净的室也不是洁净室，所以必须进行清洁。 我们所要清除的粒子和微生物肉眼是看不见的。即时洁净室看上去是洁净的，仍需对它进行系统的彻底清洁。 对洁净室进行清洁时会产生很多粒子。为使清洁过程中产生的污染最小，空调系统要全部开动。 清洁人员应与生产人员穿戴同一标准的服装和手套。 清洁工作应该进行的比家里慢，这样可以使粒子的扩散最少，保证清洁效果。 洁净室的清洁 干法真空吸尘： 在一个布满粒子的玻璃表面，使用工业用真空吸尘器，大多数100μm以上的粒子被清除了，但10μm的粒子的去除率只有25%左右。 洁净室的清洁 湿擦拭：