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MOCVD的市场现状 MOCVD的重要性 白炽灯 煤油灯 日光灯 LED灯 照明的发展史 MOCVD的重要性 LED照明在同样亮度下耗电仅为普通白炽灯的1/10、节能灯的1/2，使用寿命却可以延长100倍。随着LED技术的快速进步和新的应用不断出现，在特殊照明领域节能效果己经显现。有关专家预计，2015年后半导体照明进入普通照明应用后，其每年节电量将超过1000亿度。 LED 良品率主要取决于波长（颜色）、亮度和前置电压的正态分布。外延片的生产决定了这三个关键参数的正态分布，即外延片各层厚度与材料组成的均匀性和参杂均匀性；MOCVD是气相外延生长(VPE)的一种重要外延生长技术。 用 MOCVD 方法研制成功的化合物半导体器件很多，比如:异质结双极晶体管(HBT )、场效应晶体管(FET)、高迁移率晶体管(HEMT )、太阳能电池、光电阴极、发光二极管(LED )、激光器、探测器和光电集成器件等等。 目录 MOCVD的市场概况 设备供应情况 MOCVD的市场概况 1、生产效益 国际上MOCVD技术已经相当成熟，主流设备从2003年6~8片机、2004年12片机、205年15片机、2006年的21~24片机，目前已经达到42、45、49片机。 外延炉容量的不断扩大让LED外延片生产商的单位生产成本快速大幅下降。目前，量产企业对单批产能的最低要求是在30片以上。国产设备目前为6片机，生产效率和生产成本差距甚远。 MOCVD的市场概况 2、价格及产值概况 生产型MOCVD设备的售价高达1000~2000万元。根据机型，6片机70万美元左右，9片机1000万美元左右，加上相关配套设备设施，一条LED生产线需要投入4000多万元。 若新采购设备为45片机生产蓝光芯片，按3炉/天计算，年产4.9万片左右，收入4800万元，投入产出基本为1:1。 国外 MOCVD 制造商 1、德国爱思强公司 AIXTRON 是目前全球规模最大和市场占有率最高的化合物半导体外延设备供应商，它在全世界安装了 800 多套设备，并在 15 个国家有常驻代表。它于 1983年从德国亚琛工业大学独立出来正式成立。 1987 年成立美国AIXTRON 公司。1997 年公司在 Frankfurt 上市。1999 年收购英国 THOMAS SWAN 公司，并拥有瑞典 EPIGRESS 公司 70%的股份，同年 MOCVD 设备销售占全球 54%的市场份额。2000 年拥有法国 J.I.P 电子公司 7.4%的股份，市场份额增加到57%。2001 年成立韩国 AIXTRON、台湾 AIXTRON 和日本 AIXTRON分公司， 2002年在中国成立上海代表处。2005年合并美国Genus公司并在美国 NASDAQ上市。 AIXTRON制造的生产型和研发型MOCVD设备主要应用于生产高电子迁移率晶体管、异质性双极晶体管、超高亮度发光二极管(包括蓝光和绿光)、激光二极管、光数据传输元件以及空间太阳能电池等。 AIXTRON的MOCVD主要有以下优势： 1. AIXTRON采用了低速旋转加自转，所以明显改善了同一炉内 within-wafer的均匀性 2. 由于炉体的灵活性，对于生长一些有相互污染和残留效应的材料 ，风险小一些。AIXTRON的MOCVD可以生长多种产品 国外厂商 2、美国维易科精密仪器有限公司 Veeco 是世界领先的精密测量仪器和供应设备制造商，主要产品有 DI扫描探针显微镜、DEKTAK 探针轮廓仪、WYKO 光学轮廓仪、NEXUS 离子束沉积系统、TurboDisc 金属有机化学器械沉积系统（MOCVD） 、VEECO 分子束外延系统、SPECTOR 镀膜系统、VEECO 离子源系统等 该公司在 LED 和太阳能生产设备、信息存储生产设备及量测仪器等三大业务领域中处于行业领先水平。位于纽约、新泽西、加利福尼亚、科罗拉多、亚利桑那和明尼苏达的工厂负责产品的设计、生产、质量控制。销售体系和技术服务体系遍布美国、欧洲、亚太地区等。在中国设有北京和上海两个分支机构，负责 Veeco 仪器在中国境内的销售及技术服务，同时与中国科学院化学研究所合作建立纳米技术中心，为广大用户提供应用支持。其主打机型45片机K465已经销售超过100台，至今K系列MOCVD产品全球销售超过200台。80%的世界顶级LED企业已经采用K465型号MOCVD，截至目前，VEECO于中国地区大有斩获，累计MOCVD出货达85台。 VEECO的MOCVD主要有以下优势： 1. 它是量产型机器，能有效提高量产的时间，减少清洗和维护的时间和次数。因为开仓清洗过程需要从高达1000摄氏度的温度冷却后清洗