半导体材料制备技术(一)PPT.ppt

第三章 半导体材料制备技术 ;3.1 晶体生长技术;2、布里奇曼法的特点;3.1.2．直拉法（Czochralski，简称CZ）;3.1.4 升华法PVT;升华法立式生长坩埚示意图;II-VI族化合物晶体的生长方法: 升华法、布里奇曼法和高压液封直拉法 碳化硅 升华法基本上就是其大尺寸晶体生长的唯一有效方法 2、PVT法生长晶体的生长速率 对II-VI族化合物一般为0.5－1mm/h，对碳化硅则一般只有0.2mm/h左右;3.2 多晶硅制备;1、 工业硅制备 工业硅，一般是指95～99％纯度的硅，又称粗硅，或称结晶硅。原料：石英砂、焦炭 ;2、 四氯化硅制备;3、 三氯氢硅制备（西门子法）;4、 精馏提纯; 精馏;精馏是一种很有效的提纯手段，一次全过程，SiHCl3的纯度可从98%提纯到9个“9”到10个“9”，而且可连续生产，故精馏是SiHCl3提纯的主要方法。 ;5、四氯化硅或三氯氢硅的氢还原法制取多晶硅;7、多晶硅制备过程中的环保问题; 外媒报洛阳中硅污染 多晶硅产业再起喧嚣 来源：中国工业报 2008/5/2 3月9日，美国《华盛顿邮报》一篇题为《太阳能公司把垃圾留给中国》的文章迅速成为网络焦点。 “村民不敢相信所看到的情景：卡车在玉米地和小学操场中间停下来，一桶桶浮着泡沫的白色液体被倾倒在地上，卡车径直开走。” 《华盛顿邮报》记者认定，该“浮着泡沫的白色液体”就是生产多晶硅的副产品———四氯化硅，是高度有毒物质。 国外一直对先进的多晶硅生产技术实施封锁，尤其是在尾气回收和废料处理方面。“我国投产初期可能有过污染现象，但目前已经有了很大改进”。 ;多晶硅产业：警惕盲目上马污染环境 CCTV “经济信息联播” 2008年09月08日 由于多晶硅的高利润，目前国内多个地方都在上马多晶硅项目。专家提醒，多晶硅是一个高技术高投入的产业，而如果生产处理不当，还很容易造成环境污染。 根据最新发布的《中国新能源产业年度报告》，目前中国已建和在建的多晶硅计划产能高达63560吨，今年大约可以形成1.8万吨年生产能力。而由于在生产过程中，每生产1吨多晶硅，就会产生15（8-12）吨一种叫做四氯化硅的废弃物。 专家建议，国家应当出台相关政策，在择优支持有条件的企业大力发展多晶硅产业???同时，也要严格限制技术落后、高能耗和可能造成环境污染的企业盲目上马。 四川乐山：未建四氯化硅处理厂之前，生产中产生的废料需要运到外省的化工厂进行处理，每吨处理成本高达2000多元。现在通过技术处理后，四氯化硅就会变成一种叫做白炭黑的工业原料，每吨的售价高达三四万元。 ;国际上处理四氯化硅的两种主要方法;8、多晶硅的结构模型和性质简介;两种解释 ;(2)折射率 多晶硅的折射率随膜厚而变？ 与开始淀积时晶粒的无序结构有关;(3)扩散性质 杂质在多晶硅中扩散速度比在单晶硅中快 杂质沿多晶硅晶粒间界扩散快，以致于每一个晶粒周界的晶界都可以充当一个杂质扩散源向晶粒内部扩散