压电传感器修改课件.ppt

以钛酸钡为例，在y轴受到1N/m2的切应力。试求出在各方向产生的电荷密度。 * （1）钛酸钡（BaTiO3）压电陶瓷 具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英。 （2）锆钛酸铅Pb（Zr·Ti）O3系压电陶瓷（PZT） 压电系数较高，各项机电参数随温度等外界条件的变化小，温度稳定性好，在锆钛酸铅的基方中添加一两种微量元素（如钨、铌等），可以获得不同性能的PZT材料。 （3）铌镁酸铅Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3压电陶瓷（PMN） 具有较高的压电系数，在压力大至700kg/cm2仍能继续工 作，可作为高温下的力传感器。 压电陶瓷种类 * 6.2 压电式传感器测量电路 6.2.1等效电路 6.2.2测量电路 * 6.2.1等效电路 图6.2.1 压电传感器的等效原理 * 压电式传感器的等效电路 等效成一个电压源U a= q/Ca 和一个电容Ca的串联电路 等效为一个电荷源q与一个电容Ca并联的电路 * 图6.2.3压电传感器的完整等效电路 如果用导线将压电传感器和测量仪器连接时，则应考虑连接导线的等效电容、电阻，前置放大器的输入电阻、输入电容。 压电传感器的绝缘电阻Ra与前置放大器的输入电阻Ri相并联。 为保证传感器和测试系统有一定的低频(或准静态)响应，就要求压电传感器的绝缘电阻保持在 才能使内部电荷泄漏减少到满足一般测试精度的要求。 以上 * 6.2.2测量电路 压电式传感器的前置放大器有两个作用： 一是把压电式传感器的高输出阻抗变换成低阻抗输出； 二是放大压电式传感器输出的弱信号。 前置放大器也有两种形式： 一种是电压放大器，其输出电压与输入电压(传感器的输出电压)成正比； 另一种是电荷放大器．其输出电压与输入电荷成正比。 * 1 电压放大器 Ca：传感器的电容 Ra：传感器的漏电阻 Cc：连接电缆的等效电容 Ri：放大器的输入电阻 Ci：放大器的输入电容 * 等效电阻R为 等效电容为 前置放大器输入电压 压电元件的力 F=Fmsinωt 压电元件的压电系数为d33，产生的电荷为Q = d33·F。 输入电压的幅值 当作用力是静态力（ω=0） 时，前置放大器的输入电压为零。 原理上决定了压电式传感器不能测量静态物理量。 压电式传感器突出优点：高频响应相当好。 * 输入电压与作用力之间的相位差： 令 为测量回路的时间常数 令 如果 作用力变化频率与测量回路时间常数的乘积远大于1时，前置放大器的输入电压 与频率无关。 可以近似看做输入电压与作用力频率无关。 当改变连接传感器与前置放大器的电缆长度时， CC将改变, 也随之变化 也变化 在设计时，常常把电缆长度定为一常值。因而在使用时，如果改变电缆长度，必须重新校正灵敏度值 * （6.2.9） （6.2.10） 传感器的电压灵敏度与回路电容成反比，增加回路电容必然使传感器的灵敏度下降。 为此常将输入内阻很大的前置放大器接入回路。 其输入内阻越大，测量回路时间常数越大．则传感器低频响应也越好。 * * 例1已知电压前置放大器输入电阻及总电容分别为Ri＝1MΩ，Ci＝100pF，求与压电加速度计相配测量1Hz的振动时幅值误差为多大？ 2 电荷放大器 能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源，而且输出电压正比于输入电荷，因此，电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其输入阻抗高达1010~1012Ω，输出阻抗小于100Ω。 使用电荷放大器突出的一个优点：在一定条件下，传感器的灵敏度与电缆长度无关。 * 压电传感器与电荷放大器等效电路 A0是放大器的开环增益，（- A0 ）表示放大器的输出与输入反相，若开环增益足够高，则放大器的输入端的电位接近“地”电位。 * （6.2.11） CF、RF等效到A0的输入端时，电容CF增大(1＋A0）倍，1/RF也增大了(1＋A0）倍，这就是所谓“密勒效应”的结果。 若考虑电缆电容CC， ，则有 （6.2.13） （6.2.12） 几点结论： 1、电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电容有关， 而与放大器的放大系数的变化或电缆电容等均无关系， 2、只要保持反馈电容的数值不变，就可得到与电荷量Q变化成 线性关系的输出电压。 3、反馈电容CF小，输出就大， 4、要达到一定的输出灵敏度要求，就必须选择合适的反馈电容。 * A0足够大时，传感器本身的电容和电缆长短将不影响电荷放大器的输出。USC只决定于输入电荷q和RF、CF 由于 * 将压电式传感器与一只灵敏度为Sv且可调的电荷放大器连接，然后接到灵敏度为Sx=20mm/V的光线示波器上记录，现知压电式压力传感器灵敏度为Sp=5pc/Pa，该测试系统的总灵