《CTPECVD培训》PPT课件.ppt

* * To Power Our Future PECVD岗位培训教材 电池设备部 上饶晶科光电高科技有限公司 * * 参数的影响 工艺文件名 型号 沉积时间 用途 5sin900.PRZ 125单晶 900s 生产 5sinvar.prz 125单晶 运行时输入 （默认900秒） 工艺调试/生产 5multi.prz 125多晶 720秒 生产 5multiv.prz 125多晶 运行时输入　　（默认720秒） 生产／工艺调试 6sin900.PRZ 156单晶 900秒 生产 6SINVAR.PRZ 156单晶 运行时输入　　（默认900秒） 生产／工艺调试 6multi.prz 150、156多晶 720秒 生产 6multiv.prz 150、156多晶 运行时输入 　 （默认720秒） 生产／工艺调试 * * 沉积时间的不同膜厚也是 不一样的要根据镀膜的颜色来 适当的增加或减少它的沉积时间，片子发白要减少沉积 时间，如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的 确认，不允许把不良品流入到下道工序，如色斑、水印 镀膜不良，应及时挑出做返工处理。 参数的影响 * * Handing界面的介绍 Arm的位置（Paddle，Middle storage）其余显示均为错误 桨的信息：free 无舟 occupied 有舟 机械臂上石墨舟的感应器 empty：无舟 occupied 有舟 石英管信息显示 ready：准备状态 not ready ：运行状态 机械臂运行状态 free：运行 lock：锁定 显示存储架的存储信息 机械臂目前所的位置 PECVD岗位基本操作及注意事项 * * BOAT信息设置方法介绍 BOAT信息的设置将直接影响机械臂的自动运 行是否正常。 舟号：点击过后可对BOAT信息设置 运行状态 桨号 管号 工艺号 PECVD岗位基本操作及注意事项 * * 设定实际信息，选择此项后可对信息进行修改 或重新设定。点击取消√后，才可选择 下面一项。 删除此舟的信息 点击进入下一步 PECVD岗位基本操作及注意事项 * * 工艺号选项,选择当前需要进行的或者已经 在进行的工艺号,后面Recipe error 前面若是有红色X请点击后取消它 输入操作人员的姓名拼音首写字母 按下Finish键后完成所有设定 PECVD岗位基本操作及注意事项 * * 如果出现下列的信息,就表明你设定的信息 系统可以接受,但是你必须对你所设定的信息 再次进行确认,如果不能显示此信息,就说明 你设定的是错误的,系统将会自动跳转到你 设定错误的那一步,要求你重新进行设定。 完全确认后，点击“ok”后设定结束，返回 主界面。 PECVD岗位基本操作及注意事项 * * 特殊情况下如何进行手动关门 在特殊情况下有时候为了需要必须 手动关闭炉门 （1）检查所有管子都处于等待状态 （2）将压缩空气总阀关闭 PECVD岗位基本操作及注意事项 * * 3）打开门，将此炉门气动阀上的两个气管拔下，上面的调节阀不要动。并将气管的头对折后用紧扎带绑紧，防止压力阀开启后漏气。 调节阀 气管 PECVD岗位基本操作及注意事项 * * PECVD工艺流程 1.processing started 工艺开始 2.fill tube with N2 充氮--达到大气压的标准值，机器后面的压力并能准确测 试，得到进舟信号以后炉门才会开启 3.loading boat (paddle in upper position) 进舟--SLS显示桨位于高位， 若此时桨位于低位，进舟将会失败，舟有撞击到石英管的可能性。 4.paddle moves downwards 桨降至低位 5.move out paddle-lower position 桨在低位退出，此时应注意石墨电极有 可能会桨带出，关炉门时会损毁石墨电极 6.evacuate tube and pressure test 管内抽真空，并进行管内压力测试--- （空气接触到硅烷会发生爆炸） 7.plasma preclean and check with NH3 通过高频电源用氨气预清理和检查. 8.purge cycle