22李亚琼 工业硅歧化提纯除硼过程的热力学的研究.pdfVIP

工业硅歧化提纯除硼过程的 热力学分析 李亚琼，谭毅，李佳艳，武深瑞，刘瑶 大连理工大学 Email: liyaqiong2007@ 内容 • 1. 背景 • 2. 热力学分析 • 3. 工业硅歧化提纯工艺的原则流程 • 4. 结论 1. 背景 太 能源 环境 清洁 危机 污染 能源 阳 能 硅太阳能电池的主要材料——多晶硅的制备方法 1.化学法：改良西门子法；硅烷法；等等 2.冶金法：定向凝固；载能束冶金提纯；真空熔炼；酸洗；造渣； 合金化分凝提纯，等等 关 低成本、高效的多晶硅提纯工艺 键 新的工业硅提纯工艺 • 根据硼的饱和蒸气压较低的特性 真空熔炼 歧化反应 高纯Si 高纯SiO + MG-Si SiO 2 气相冷凝 高纯SiO2 硼杂质 残渣 热 1200-1800 K 力 吉布斯自由能变化和平衡分压：二氧化硅与硅，二氧化硅与硼 1.分析杂质硼的热力学过程，探讨将杂质硼抑制在残渣中的可行性 学 2.为提纯工业硅的工艺研发提供理论参考 2. 热力学分析 • 2.1. 体系的相关反应 真空熔炼 MG-Si+ SiO SiO (BO、BO 、B O、B O 、B O ) 2 2 2 2 2 2 3 气相冷凝 真空熔炼-气相冷凝过程中二氧化硅与硅、硼的相关反应 Reactions of SiO2 with Si and B in vacuum melting - gas condensation process 编号 相关反应 温度范围(K) 备注 (1) Si(s or l)+SiO2(s) = 2SiO(g) 1200-1800 (2) 2B(s or l)+SiO2(s) = Si(s or l)+2BO(g) 1200-1800 (3) B(s or l)+SiO (s) = Si(s or l)+BO (g) 1200-1800 2 2 (4)