等离子体电子工程(10)-分子激发跟离解、电离.pdfVIP

2.5 分子的激发与离解、电离 2.5.1 分子的内能 对于等离子体加工的放电，除了可以采用单原子分子的稀有气体 之外，还可以利用由若干原子经化学反应而生成的气体分子。这类分 子包括H 、O 等双原子分子，甲烷 （CH ）以及氟利昂 （CF ）等 5 2 2 4 4 原子分子。 通常，原子 X 和原子 Y 以共有电子对的形式结合成分子XY 的 情形可用 2.10 描述。以下我们介绍的内容，当 X ，Y 为多原子组成 的基团时也是适用的。图 2.10 中所示的核间距 R 以由温度决定的振 幅而振动，同时分子XY 还作绕轴的回旋运动。于是，对于分子来说， 不仅做整体的直线平动，还具有振动和旋转能量以及在原子结合成分 子时获得的势能。以上这四种能量的总和就是气体分子的内能，用 U 表示。对于体积为 V 、压强为 P 的气体，定义焓H U PV ，用来 表示气体的热力学状态。基于这个概念，对于各种气体，我们可以求 出在25 C、一个大气压下生成 1mol 气体所需要的焓 （标准生成热）。 气体的标准生成热 （H ）一般是以标准状态下、处于热力学平衡的 f 气体 （H ，N ，O 等）为比较基准 （零），单位kJ / mol ，也经常用 2 2 2 eV/分子。表 2.1 列出了等离子体工艺中常用的气体——甲烷、硅烷、 氟利昂的标准生成热，同时也给出了相关基团及原子的标准生成热。 图2.10 双原子分子的振动、回旋 气体分子 XY 一旦被加热，X 和 Y 间的振动就会变得剧烈。当 振动能量超过结合能eV 时，就会发生反应 B XY X Y( eV ) B 使分子离解 （热离解）所需的能量，等于 X 和 Y 的标准生成热 的总和与 XY 的标准生成热的差值。例如，H H H 的离解反应 2 需要 2.25 2 4.5eV 的热能 ； SiH SiH  H 的反应需要吸收 4 3 2 2.57 0.35 2.22eV 的热能。与此相反，SiH  H  SiH 就是放热反 3 4 应，放出的能量为2.02  2.25 0.35 3.92eV 。 表 2.1 标准生成热H （换算生成一个分子所需的能量）（单位： f eV1 ） CH CH CH CH C 4 3 2 -0.774 1.5 3.99 6.15 7.14 Si SiH SiH SiH SiH 4 3 2 0.35 2.02 2.57 3.49