2016 璨揚節能降耗專案.ppt

____ __ ____ _____ ____ ______ Click to edit Master text styles ?2011 Epistar Corporation. All Right Reserved. ?2010 Epistar Corporation. All Right Reserved. ?2011 Epistar Corporation. All Right Reserved. * 2016璨揚光電節能降耗 廠務處 CONFIDENTIAL 目標值：1739.5萬元/年 節費專案費用低減[2016年] 說明： 1、以上述行動方案執行 , 全年合計NT : 1739.5萬元。 2、目標值為全廠全年度累計計算。 戰 節省1739.5萬元/年 節能方案計畫 現況 費用成本 工作項目 預期效益 MO排氣改造 1.20台MOCVD(TSVEECO)的PSU 排氣直接通過排風機排至吊頂內。2.廠內MO機台背景排均排至戶外 電費 : 30*24*360*0.76元 = 196,992元RMB/年(NT : 約 98.5萬) 1.將PSU的排風機取消，將其 排氣接至背景排系統。2.原MO背景排氣系統通過風 管將其引至2F空調機房此 部分再利用 1.PSU風機取消節能電費 : NT : 98.5萬元2.排氣再利用至空調箱 : NT : 585萬元 節能 : 714.5萬元 UPS改造 現目前大部分UPS都在低功率狀態下運行，運轉電流不足額定電流的。40%。初步判定約有20台 一般空載耗電量為UPS功率的10~20%。以10%計，200KVA*0.8*0.1*24*0.76元*360*20台=約210萬元RMB (NT:1050萬) 依目前的實際使用狀況，部分UPS可以兩台合併 減少10台 UPS使用 節能 : 525萬元 PCW改造 立式多級離心泵參數：12CMH 90M 7.5KW 兩台（一用一備）, 現有MO實測流量約為6CMH，一對一設計 每台Pump 運轉費用 7.5*0.8*24*360*0.76=39,398元29台運轉費用-- 約114萬RM/年 (NT : 570萬) 將兩組PCW併為一組使用 減少14組PCW PUMP運轉 節能 : 275萬元 蒸汽節能 因進入夏季蒸汽使用量逐步降低 ，夏季主要是晶片後段製程在使用 2014年 5~10月 蒸汽費為47.8萬元RMB (NT : 225萬) 夏季期間申請停止使用蒸汽 減少 : 225萬元 支出 節費專案說明[MO排氣改造] 戰 现况说明 : 1. 20台MOCVD的PSU排气直接通过排风机排至吊顶内。 10台 THOMAS 均配置两台0.75KW轴流排风机 , 10台VEECO均配置一台1.5KW轴流排风机 ; 总功率30KW。 2. 现目前37台MOCVD机台背景排气直接排至室外，排气风量为50000CMH*2 台 + 75000CMH*1台。 改造方案 : 1）将PSU的排风机取消，将其排气接至背景排系统，可节省排风机电力消耗。 2）原MO背景排气系统排至屋顶室外，将其引至2F空调机房再利用減少新風處理量，並於管內設置GD偵測器 (NH3,SiH4,H2) 当管內空气有异常时，直接通过电动风阀自动切换，排至室外。。 現況 改造後 PSU 主機 PSU GD偵測器聯動控制 PSU風機 主機 PSU風機取消直接接入排氣管 排氣引流至空調箱作為新風來源 節費專案說明[MO排氣改造] 戰 效益評估: 1）將室內排氣引回至空調箱，可減少新風預處理的能量消耗，因夏季除濕降溫的能量消耗較大，以計算此部 分為主 1. 新風處理可節省能量： 現風機頻率以35HZ運轉，未來增加PSU排氣，以增加至40HZ計風量與頻率成正比關係 175000*（40/50)*1.2*（99.42-46.87）/(4.2*860)*0.8(回收率)=1955KW 即 556RT 現有冰水主機的能效比為5.5 所以相應節省耗電量為1955/5.5=355KW 每年節省電費：以4月到9月計（其他月份非除濕季節），其他月份節省蒸汽加濕耗量（此部分暫不計） 355*24*180（天）*0.76元/度（平均電費）=約 117萬RMB/年 (NT : 585萬) 2. PSU軸流風機取消節省電費： 30*24*360*0.76=約 19.7萬元-RMB/年 (NT : 98.5萬) 兩項共計節省電費：117+25.9=142.9萬元RMB/年 (NT : 714.5萬)