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光控格值转换及控制参数设定 吴江波 2008-11-6 大 纲 一. 光控格值转换 主要是对3个文件的设定 1. mcf文件设定 2. dds文件设定 3. rs文件设定 二. 熔料参数设定 一. 光控格值转换 1.Mcf文件设定 二. 熔料参数设定 * * 光控系数 晶控系数 如果是新建的Machina Configuration，这些参数要添加进去。 2. dds文件设定 删除所有层之前要选中第1层 注意是粘贴设计而不是粘贴厚度 注意核对两种材料是否一致,要选择一致的材料。 注意核对各层的厚度与TFC上的厚度是否一致。 3.rs文件设定 Dds文件 对应的Mcf文件 这个是控制方式跟镀膜机有关，1100，1300A，1300D和1300E是透射控制，1300B和1300C是背面反射控制 初始设置是10，这里要改成2.5，这个跟镀膜机有关。 控制波长设置处 带宽设置处 控制片和控制波长设置好后要计算一下。 改变控制波长和控制片，使百分比尽可能接近30％或者小于30％ 修改起始值为小于100的整数，查看整个膜系走值变化。 除了第1个控制片之外，每个控制片的第1层都要减去1nm。 设置完后从这里导出文件 指定一个输出位置，这里可以随意输入一个文件名称。 输入一些相关信息 指定1个Excel文件，层数要跟设计膜系一样 总层数 要查看这些是不是正确 * * *
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